[发明专利]一种基于双悬空结构的可调红外热辐射器件

权利要求书

1.一种基于双悬空结构的可调红外热辐射器件，其特征在于，包括下层悬空结构和上层悬空结构；

所述的下层悬空结构自下而上依次包括基底、下层支撑层、下层加热层、下层导电层；

所述的上层悬空结构自下而上依次包括上层支撑层、上层绝缘层、上层导电层、上层半导体微纳结构，或者依次包括上层支撑层、上层绝缘层、上层金属微纳结构；

基底成凹形，与下层支撑层一起形成一个下层空气间隙；上层支撑层中间挖空，与上层导电层、上层支撑层、上层绝缘层一起形成一个上层空气间隙；

通过调节下层悬空结构的温度，调节可调红外热辐射器件的黑体辐射背景谱线，通过加电压控制上下层导电层之间的静电力，影响其形变程度，从而推动上层悬空结构靠近或者远离下层悬空结构，改变上层空气间隙，进而改变微纳结构的辐射波长以及辐射强度，实现波长调谐及强度调制。

2.如权利要求1所述的双悬空结构的可调红外热辐射器件，其特征在于，所述的基底采用硅基底，下层悬空结构在硅基底上制作，下层支撑层为介质材料，下层加热层由金属材料构成，设计成螺旋、盘状、环状结构，以使得加热均匀；在下层加热层的两端各引出一个电极，通过在电极上施加电信号，通过金属发热将电流转化成热能；下层加热层依靠下层支撑层悬空在硅基底上。

3.如权利要求1所述的双悬空结构的可调红外热辐射器件，其特征在于，所述的上层半导体微纳结构或者上层金属微纳结构，辐射或者吸收特定波长的红外光，且同下层导电层间存在模式耦合。

4.如权利要求1所述的双悬空结构的可调红外热辐射器件，其特征在于，通过金属引线结合或者通孔的方式将电信号引入上层悬空结构。