[发明专利]电感元件的制备方法、设备、电感元件及超导电路有效
申请号: | 202010431535.X | 申请日: | 2020-05-20 |
公开(公告)号: | CN113257552B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 高然;周经纬;邓纯青 | 申请(专利权)人: | 阿里巴巴集团控股有限公司 |
主分类号: | H01F41/00 | 分类号: | H01F41/00;H01L39/02 |
代理公司: | 北京太合九思知识产权代理有限公司 11610 | 代理人: | 孙明子;刘戈 |
地址: | 英属开曼群岛大开*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电感 元件 制备 方法 设备 超导 电路 | ||
1.一种电感元件的制备方法,其特征在于,包括:
获取用于制备电感元件的化合物,所述化合物的超导相干长度与磁场穿透深度满足预设条件,所述预设条件包括:超导相干长度小于磁场穿透深度;
对所述化合物进行退火操作,以使所述化合物中包括的非超导体相与超导体相出现相分离,生成所述电感元件,其中,所述电感元件的动态电感大于几何电感,所述非超导体相与所述超导体相中包括至少一个相同的化学元素。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
获取用户针对所述预设条件输入的执行操作;
基于所述执行操作对所述预设条件进行配置。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述非超导体相为纳米尺寸。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述几何电感与所述电感元件的精细结构常数相关。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,获取用于制备电感元件的化合物,包括:
获取用于制备电感元件的原材料;
对所述原材料进行薄膜沉积处理,获得所述化合物。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述化合物进行退火操作,以使所述化合物中包括的非超导体相与超导体相出现相分离,生成所述电感元件,包括:
获取退火控制参数;
基于所述退火控制参数控制所述化合物进行退火操作,以使所述化合物中包括的非超导体相与超导体相出现相分离,生成所述电感元件。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述退火控制参数包括以下至少之一:退火温度、退火时间。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,
所述退火温度小于所述化合物的熔点温度、且所述退火温度大于与所述化合物相对应的预设温度阈值,其中,所述预设温度阈值为所述化合物中的非所述超导体相与所述超导体相出现相分离的最小温度。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述非超导体相与所述超导体相之间相分离的程度与所述退火温度呈正比。
10.根据权利要求7-9中任意一项所述的方法,其特征在于,
所述非超导体相与所述超导体相之间相分离的程度与所述退火时间呈正比。
11.根据权利要求7-9中任意一项所述的方法,其特征在于,
所述非超导体相与所述超导体相之间相分离的程度与所述退火时间呈反比。
12.根据权利要求7-9中任意一项所述的方法,其特征在于,获取退火控制参数,包括:
获取用于控制退火操作的多个备选控制参数,在所述多个备选控制参数的控制下,所述电感元件对应有多个不同的动态电感;
在所述多个备选控制参数中,确定所述退火控制参数,以最大化所述电感元件的动态电感。
13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于,获取用于控制退火操作的多个备选控制参数,包括:
确定所述化合物中包括的非超导体相和超导体相;
获取与所述非超导体相和所述超导体相相对应的退火参数范围,所述退火参数范围为所述非超导体相和所述超导体相进行自发相分离所对应的参数范围;
在所述退火参数范围内,获取用于控制退火操作的多个备选控制参数。
14.根据权利要求7-9中任意一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
获取用户针对所述退火控制参数输入的执行操作;
基于所述执行操作对所述退火控制参数进行设置。
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