[发明专利]一种空气隙标准具结构的宽波段温度调谐滤波器

说明书

本发明公开了一种空气隙标准具结构的宽波段温度调谐滤波器，包括空气隙标准具，所述空气隙标准具由H‑K9与石英晶体组合构成，且所述石英晶体作为H‑K9的间隔块材料。本发明的有益效果是：利用石英晶体热涨的各向异性特点作为间隔块实现腔厚的温度调谐.第二种材料组合选取二种各向同性材料的热膨胀系数差异在5E‑6内，配合特殊键合膜制作温度调谐的空气隙标准具。

技术领域

本发明涉及一种空气隙标准具结构，具体为一种空气隙标准具结构的宽波段温度调谐滤波器，属于光通讯行业技术领域。

背景技术

标准具是构建法布里-珀罗腔的多光束干涉机理制作的一种滤波器，即二个平行平面形成干涉腔起到滤波器的效应，因腔介质不同形成二种结构，腔介质为空气的称空气隙标准具，腔介质是光学玻璃的称为固体标准具，空气隙标准具通常用零膨胀系数的微晶玻璃腔垫料，选融石英材料作腔镜，因融石英材料热膨胀系数5.3E-7/℃与微晶玻璃的热膨胀系数1E-8/℃差异很小，键合后结构稳定，设计高波长稳定的滤波器，这种结构制作的空气隙标准具已在光通讯行业广泛使用。

而由于材料的热涨系数差异，使得空气隙标准具腔长随温度变化而致使中心波长随着变化，法泊腔(F-P)标准具对腔面的平行度要求很高，构建标准具的所有界面必须是键合面才能满足平行度的要求，如果直接选取二种不同热胀系数材料，制作温度调谐的可调滤波器，如果热膨胀系数的差异太大，二种材料的结合面难以键合。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种空气隙标准具结构的宽波段温度调谐滤波器。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：一种空气隙标准具结构的宽波段温度调谐滤波器，包括空气隙标准具，所述空气隙标准具由H-K9与石英晶体组合构成，且所述石英晶体作为H-K9的间隔块材料。

作为本发明再进一步的方案：所述石英晶体以a切、b切或光轴平行键合面切向做间隔块材料。

作为本发明第二种材料组合方案：选取二种各向同性材料热膨胀系数的差异在5E-6/℃内。

作为本发明再进一步的方案：所述二种各向同性材料的键合面镀有SiO2键合膜。

本发明的有益效果是：该空气隙标准具结构的宽波段温度调谐滤波器设计合理，利用石英晶体热涨的各向异性特点作为间隔块实现腔厚的温度调谐.选取二种各向同性材料的热膨胀系数差异在5E-6内，配合特殊键合膜制作温度调谐的空气隙标准具，使键合面满足平行度的要求。

附图说明

图1为本发明第一种结构示意图；

图2为本发明第二种结构示意图；

图3为本发明H-K9平行平片1，2与H-K9楔角片3，4结构示意图；

图4为本发明石英晶体平行平片5，6结构示意图；

图5为本发明H-K9平行平片、楔角片与石英晶体平行平片键合结构示意图；

图6为本发明Brofloat33平行平片11，12与H-K9楔角片13，14结构示意图；

图7为本发明H-K9平行平片15，16结构示意图；

图8为本发明H-K9平行平片与Brofloat33平行平片键合结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。