[发明专利]一种基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器

权利要求书

1.一种基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器，其特征在于，包括：振源、底座、悬臂梁、磁热材料颗粒；所述底座固定在所述振源上，所述悬臂梁的一端固定在所述底座上，所述悬臂梁的另一端为自由端，所述磁热材料颗粒设置在所述悬臂梁上；工作时，所述悬臂梁在所述振源作用下发生振动，在待测交变磁场作用下，所述磁热材料颗粒发热，改变所述悬臂梁的力学特性，从而改变所述悬臂梁的振动频率与振幅，通过检测所述悬臂梁振动的频率与振幅实现磁场探测。

2.如权利要求1所述的基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器，其特征在于：所述磁热材料颗粒为四氧化三铁纳米粒子，四氧化三铁纳米粒子的粒径为10纳米-100纳米。

3.如权利要求2所述的基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器，其特征在于：所述振源为压电晶振片，所述悬臂梁为半导体材料或金刚石。

4.如权利要求1-3任一项所述的基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器，其特征在于：在所述悬臂梁上设有凹槽。

5.如权利要求4所述的基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器，其特征在于：所述凹槽不穿透所述悬臂梁。

6.如权利要求5所述的基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器，其特征在于：所述磁热材料颗粒置于所述凹槽内。

7.如权利要求6所述的基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器，其特征在于：所述凹槽的深度大于所述磁热材料颗粒的尺寸。

8.如权利要求7所述的基于磁热效应的悬臂梁式磁场探测器，其特征在于：在所述磁热材料颗粒上层设置气凝胶材料。