[发明专利]膜层固化装置

权利要求书

1.一种膜层固化装置，其特征在于，包括：

支撑台，用于承载衬底，所述衬底表面具有一膜层；

光源组件，位于所述支撑台上方，所述光源组件包括朝向所述支撑台设置且在竖直方向上的投影覆盖整个所述膜层的出光面、以及均匀分布于所述出光面的整个表面的光源阵列，所述光源阵列包括均匀分布于所述出光面上的多个点状光源，所述出光面为圆形，所述光源阵列中的多个所述点状光源沿所述出光面的径向方向呈多圈圆环排布，所述光源组件还包括位于所述光源阵列背离所述支撑台一侧的反射器，用于反射所述光源阵列发射的光线，所述反射器的截面呈圆弧状，且所述反射器罩于所述点状光源上方，所述光源阵列中所有所述点状光源同时发光时，所述光源阵列发射的光线能够均匀照射整个所述膜层，以提高所述膜层固化后的厚度分布均匀性。

2.根据权利要求1所述的膜层固化装置，其特征在于，所述反射器的数量为多个，且多个所述反射器与多个所述点状光源一一对应。

3.根据权利要求2所述的膜层固化装置，其特征在于，所述光源组件还包括与多个所述点状光源一一对应的多个传感器，所述传感器用于检测与其对应的所述点状光源发射的光线的强度。

4.根据权利要求3所述的膜层固化装置，其特征在于，所述传感器安装于所述反射器朝向所述点状光源的表面；或者，所述反射器中具有一开口，所述传感器嵌于所述开口内。

5.根据权利要求4所述的膜层固化装置，其特征在于，所述光源组件还包括控制器，所述控制器连接所述光源阵列与多个所述传感器，用于根据所述传感器检测到的光线的强度调整所述光源阵列中的所述点状光源的发光强度。

6.根据权利要求5所述的膜层固化装置，其特征在于，还包括反馈组件，所述反馈组件连接所述控制器，用于获取固化后所述膜层的厚度分布，并根据所述膜层的厚度分布通过所述控制器调整所述点状光源的发光强度。

7.根据权利要求6所述的膜层固化装置，其特征在于，所述反馈组件采用如下公式计算一所述点状光源的输入功率调整幅度：

输入功率调整幅度=影响系数×（实际膜厚-目标膜厚）

其中，影响系数是与所述点状光源的固化性能相关的常数，实际膜厚是所述反馈组件获取的所述膜层中与待调整的所述点状光源对应区域的厚度，目标膜厚是预设的固化后所述膜层所需的厚度。

8.根据权利要求1所述的膜层固化装置，其特征在于，所述点状光源发射的光线的主波峰波长为380nm~400nm。