[发明专利]石墨烯/单原子层GaS/GaAs无线电发电机及其制作方法有效
| 申请号： | 202010435399.1 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111641275B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 林时胜;宣扬帆;陈红;陈妍;郑浩男;陆阳华 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H02J50/20 | 分类号： | H02J50/20;H01L31/115;H01L31/0336 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 原子 gas gaas 无线电 发电机 及其 制作方法 | ||
1.石墨烯/单原子层GaS/砷化镓无线发电机，其特征在于，该无线发电机包括两部分：一部分为砷化镓层(1)，所述砷化镓层（1）经过硫化铵钝化处理，在其表面形成单原子层硫化镓(2)，砷化镓层（1）背面设有第一电极(3)；另一部分为石墨烯层(4)，其一面与砷化镓层(1)的单原子层硫化镓面直接接触形成异质结，另一面设有边电极(5)，所述的边电极(5)面积小于石墨烯层(4)，第一电极(3)面积小于砷化镓层(1)；所述的砷化镓层经硫化铵钝化处理过程为：对洁净的砷化镓片采用稀盐酸溶液除去氧化层，洗净后再用过氧化氢溶液氧化砷化镓表面，重复去氧化和氧化操作3-7次后，用质量分数为15-20%的硫化铵溶液钝化砷化镓样品，最后用去离子水清洗完成。
2.根据权利要求1所述的石墨烯/单原子层GaS/砷化镓无线发电机，其特征在于，所述的石墨烯层为单层石墨烯。
3.根据权利要求1所述的石墨烯/单原子层GaS/砷化镓无线发电机，其特征在于，所述的第一电极与边电极均选自金、钯、银、钛、铬、镍、铂和铝中的一种或者几种的复合电极。
4.根据权利要求1所述的石墨烯/单原子层GaS/砷化镓无线发电机，其特征在于，所述的砷化镓层为N型掺杂的砷化镓。
5.根据权利要求1所述的石墨烯/单原子层GaS/砷化镓无线发电机，其特征在于，所述的石墨烯与单原子层GaS之间还设置有PEDOT:PSS层。
6.根据权利要求1所述的石墨烯/单原子层GaS/砷化镓无线发电机，其特征在于，所述的GaAs层采用阵列化设计。
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