[发明专利]一种超高真空设备

权利要求书

1.一种超高真空设备，其特征在于：包括真空腔体和外部加热装置，外部加热装置包括加热单元，加热单元包括用于与超高真空设备的真空腔体连通的供靶材放置的壳体管，壳体管的一端为盲端，壳体管的外壁上设置有加热结构，所述加热单元通过真空腔体连接单元与超高真空设备的真空腔体连接，真空腔体连接单元包括连通管，连通管的一端设置有第一转接法兰用于与真空腔体上的与样品正对的真空腔第一法兰连接，连通管的另一端设置有第二转接法兰，壳体管的端部设置有用于与第二转接法兰连接的第三转接法兰，连通管上设置有微漏阀门，连通管上连接有真空泵站，连通管与真空泵站之间设置有调节阀，连通管上还设置有真空计。

2.根据权利要求1所述的超高真空设备，其特征在于：所述壳体管内部沿轴向方向依次间隔设置有第一石英棉和第二石英棉，在使用时靶材位于第一石英棉和第二石英棉之间。

3.根据权利要求1所述的超高真空设备，其特征在于：所述加热结构包括缠绕于壳体管外壁上的并绕制成螺旋管结构的加热丝。

4.根据权利要求1所述的超高真空设备，其特征在于：所述壳体管外壁上设有保护罩，加热丝缠绕于保护罩外壁上。

5.根据权利要求4所述的超高真空设备，其特征在于：所述加热丝上包裹有绝缘材料。

6.根据权利要求5所述的超高真空设备，其特征在于：所述加热单元还包括设置于保护罩外侧的屏蔽罩，用于隔离加热丝与外界环境。

7.根据权利要求6所述的超高真空设备，其特征在于：所述保护罩和屏蔽罩均为一端为盲端的金属套管结构。

8.根据权利要求6所述的超高真空设备，其特征在于：所述加热单元还包括热电偶，热电偶的采集端位于屏蔽罩与电热丝之间。