[发明专利]一种基于CNTs超表面的THz波传感器、制备方法及其用途有效
| 申请号： | 202010436778.2 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111693494B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 王玥;张晓菊;崔子健;胡辉;张向;朱永强 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 cnts 表面 thz 传感器 制备 方法 及其 用途 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于CNTs超表面的THz波传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、在衬底（1）上垂直生长CNTs阵列；
步骤2、在所述CNTs阵列上拉出超有序排列CNTs薄膜；
步骤3、将所述CNTs薄膜转移至衬底（1）上；
步骤4、重复步骤2-3，将多层CNTs薄膜叠加得到薄膜层（2）；
步骤5、在所述薄膜层（2）进行表面平整修饰上压合封装层（4）；
步骤6、在所述封装层（4）上切割窗口；
步骤7、在所述薄膜层（2）上刻蚀矩形孔阵结构（3），得到THz波传感器；步骤2所述的拉膜过程中，拉出速度为8~10m/min；所述薄膜层（2）包括40~100层超有序排列CNTs薄膜；所述矩形孔阵结构（3）的长度为80~150μm，宽度为15-35μm，周期为200~300μm。
2.采用权利要求1所述的制备方法制得的THz波传感器的用途，其特征在于，用于检测残留农药。
3.采用权利要求2所述的基于CNTs超表面的THz波传感器的制备方法制得的THz波传感器的用途，其特征在于，所述THz波传感器的检测浓度范围为1~80ppm。
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