[发明专利]一种将石墨烯转移至有机玻璃衬底的方法在审
| 申请号： | 202010438315.X | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111620330A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张国栋;刘元;赵玉龙;韦学勇;余旺;孙警;张一中 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C01B32/186 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 转移 有机玻璃 衬底 方法 | ||
1.一种将石墨烯转移至有机玻璃衬底的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：在金属箔上生长单层石墨烯；
步骤2：将石墨烯/金属箔置于两个光滑平整的载体之间，将金属箔压平；
步骤3：在石墨烯表面旋涂一层光刻胶，进行固化；
步骤4：配制金属箔的刻蚀液，将光刻胶/石墨烯/金属箔置于刻蚀液中对金属箔进行刻蚀，在光刻胶的浮力作用下，保证了金属箔与刻蚀液的良好接触；
步骤5：当金属箔刻蚀完成后，用PMMA目标衬底捞取光刻胶/石墨烯；接着将光刻胶/石墨烯释放至去离子水中进行漂洗，漂洗完后将光刻胶/石墨烯/PMMA目标衬底置于平整的实验台上，吹干；然后将光刻胶/石墨烯/PMMA目标衬底置于热板上烘干；
步骤6：对光刻胶/石墨烯/PMMA目标衬底表面的光刻胶进行紫外线曝光；接着利用显影液进行显影，然后用去离子水进行漂洗，最后烘干，完成将石墨烯转移至PMMA目标衬底。
2.根据权利要求1所述的一种将石墨烯转移至有机玻璃衬底的方法，其特征在于：所述的步骤3中的光刻胶采用AZ4620光刻胶，通过两次匀胶固化形成厚度约为3μm的辅助转移层，旋涂参数为：低速500rpm，时间9s；高速1500rpm，时间30s；第一次固化时间5min，温度85℃；第二次固化时间15min，温度85℃。
3.根据权利要求2所述的一种将石墨烯转移至有机玻璃衬底的方法，其特征在于：所述的步骤6中光刻胶通过曝光显影工艺去除，曝光时间为23s；显影液为5‰NaOH溶液，显影时间为2min。
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