[发明专利]控制系统和控制方法

说明书

本发明提供了控制系统和控制方法。提供了一种控制系统，该控制系统包括：电力发送线圈，其用于以无线方式发送从电源供给的电力；电力接收线圈，其用于通过电力发送线圈与电力接收线圈之间的电磁耦合来以无线方式接收电力；驱动电路，其被构造为使用经由电力接收线圈接收的电力来驱动负载部；发送耦合器，用于以无线方式发送用于控制负载部的发送信号；接收耦合器，其用于通过发送耦合器与接收耦合器之间的电磁耦合来以无线方式接收发送信号；以及生成电路，其被构造为根据经由接收耦合器接收的发送信号生成用于控制驱动电路的驱动信号。

技术领域

本公开涉及一种用于基于无线通信进行控制的控制系统和控制方法。

背景技术

通常，存在向电机供电并驱动电机的系统。在半导体曝光设备中，以极少的量移动晶片以在晶片上形成图案的电机安装在将晶片移动至曝光位置的台上，并且供给用于驱动电机的电力的电源电缆连接到台。该电缆也可以随着台的移动而移动，因此，该电缆的张力影响台的定位精度。鉴于此，正在考虑实现对电机的无线驱动以消除对电源电缆的需求。

作为用于实现对电机的无线驱动的技术，日本特许第6219495号公报公开了一种无线驱动车辆的车轮的电机系统的构造。在该电机系统中，不仅通过无线方式发送用于驱动电机的电力，而且还通过使用利用电磁波的无线通信将控制信号发送至设置在电力接收侧(可移动侧)的电机驱动电路，由此实现对电机驱动电路的控制。此外，为了应对在进行利用电磁波的无线通信时发生的延迟的影响，在电力接收侧设置用于检测驱动电流和驱动电压的检测电路，并基于检测值进行反馈控制，从而实现对整流电路的控制。

近年来，需要提高用于驱动诸如电机的负载部的控制信号的无线通信的速度。为了提高例如半导体曝光设备中的精度和曝光速度，需要以较短的周期发送用于驱动电机的控制信号。在日本特许第6219495号公报中公开的技术中，由于根据无线LAN的标准等进行利用电磁波的辐射无线通信，因此可以预期由于协议处理等而发生几百μs至几ms的延迟。

发明内容

根据本公开的各种实施例，提供了一种控制系统，其包括：电力发送线圈，其用于以无线方式发送从电源供给的电力；电力接收线圈，其用于通过电力发送线圈与电力接收线圈之间的电磁耦合来以无线方式接收电力；驱动电路，其被构造为使用经由电力接收线圈接收的电力来驱动负载部；发送耦合器，其用于以无线方式发送用于控制负载部的发送信号；接收耦合器，其用于通过发送耦合器与接收耦合器之间的电磁耦合来以无线方式接收发送信号；以及生成电路，其被构造为根据经由接收耦合器接收的发送信号生成用于控制驱动电路的驱动信号。

根据本公开的各种实施例，提供了一种控制系统，其包括：电力发送线圈，其用于以无线方式发送从电源供给的电力；电力接收线圈，其用于通过电力发送线圈与电力接收线圈之间的电磁耦合来以无线方式接收电力；驱动电路，其被构造为使用经由电力接收线圈接收的电力来驱动负载部；发送耦合器，其用于以无线方式发送用于控制负载部的驱动的发送信号；接收耦合器，其用于通过发送耦合器与接收耦合器之间的光耦合来以无线方式接收发送信号；以及生成电路，其被构造为根据经由接收耦合器接收的发送信号生成用于控制驱动电路的驱动信号。

根据本公开的各种实施例，提供了一种用于控制系统的控制方法，所述控制系统包括：电力发送线圈、电力接收线圈、发送耦合器、接收耦合器以及负载部，所述控制方法包括：经由电力发送线圈与电力接收线圈之间的电磁耦合来以无线方式发送从电源供给的电力；经由发送耦合器与接收耦合器之间的电磁耦合来以无线方式发送用于控制负载部的驱动的发送信号；以及根据经由接收耦合器接收的发送信号来生成用于控制驱动电路的驱动信号，所述驱动电路使用经由电力接收线圈接收的电力来驱动负载部。

通过以下参考附图对示例性实施例的描述，本公开的其他特征将变得清楚。

附图说明

图1是根据一个实施例的驱动系统的电路框图。