[发明专利]一种剪切散斑干涉系统

权利要求书

1.一种剪切散斑干涉系统，其特征在于，所述剪切散斑干涉系统包括：

短焦距镜头、迈克尔逊干涉装置、长焦距镜头和CCD相机；

所述短焦距镜头设置在所述迈克尔逊干涉装置的光入射的方向上；所述长焦距镜头和所述CCD相机依次设置在所述迈克尔逊干涉装置的光出射的方向上；

所述短焦距镜头与所述迈克尔逊干涉装置的光入射口同轴，设为第一中心轴；所述长焦距镜头、所述CCD相机和所述迈克尔逊干涉装置的光出射口同轴，设为第二中心轴，所述第一中心轴与所述第二中心轴垂直；

被测物体的漫反射光经过所述短焦距镜头在短焦距镜头的成像平面上形成所述被测物体的缩小实像；

所述缩小实像经过所述迈克尔逊干涉装置，形成两束相干光，再经过所述长焦距镜头投射在所述CCD相机的成像靶面上；

所述迈克尔逊干涉装置包括分光棱镜、第一反射镜和第二反射镜；所述分光棱镜设置于所述成像平面的光出射的方向上，所述分光棱镜与所述第一中心轴成45°角；所述第一反射镜设置于所述分光棱镜的光反射的方向上，所述第一反射镜与所述第一中心轴成θ角；所述第二反射镜设置于所述分光棱镜的光透射的方向上，所述第二反射镜与所述第一中心轴垂直；

所述长焦距镜头的焦距满足公式：其中，f₂为长焦距镜头的焦距，l₁为短焦距镜头的成像平面到长焦距镜头光心之间的距离，l₂为长焦距镜头光心到CCD相机的成像靶面的距离，所述剪切散斑干涉系统还包括接圈，所述接圈设置于所述分光棱镜和所述CCD相机之间，长焦距镜头光心到CCD相机的成像靶面的距离通过选用不同长度的接圈进行调节。

2.根据权利要求1所述的剪切散斑干涉系统，其特征在于，通过调节所述短焦距镜头的焦距，进行被测物体的清晰度和视场大小调节。

3.根据权利要求1所述的剪切散斑干涉系统，其特征在于，短焦距镜头成像平面到长焦距镜头光心之间的距离与迈克尔逊干涉装置的边长的2倍的差值小于预设阈值。