[发明专利]特别是用于具有表面拓扑结构的钟表的部件及用于制造其的方法

说明书

本发明涉及一种旨在与另一部件摩擦接触的部件（1），所述部件（1）涂覆有至少部分覆盖所述部件（1）的每个表面的成整体的导电层（4），在这些表面中的至少一个上发生摩擦，该表面被称为功能表面（2），所述功能表面（2）被多个侧表面（3）包围，部件（1）在其功能表面（2）上具有由连续的涂覆有所述导电层（4）的凹槽（2a）形成的纹理，所述凹槽（2a）各自在两个侧表面之间延伸，使得尽管由功能表面（2）上的摩擦引起了磨损，但导电层（4）仍在部件（1）上整体保留。本发明还涉及通过DRIE（深反应离子蚀刻）工艺制造部件（1）的方法，其中将通过DRIE工艺机械加工的侧面上的表面缺陷用于形成所述凹槽（2a）。

技术领域

本发明涉及一种特别是在钟表学领域中使用的微机械部件，该微机械部件旨在在使用期间经受与另一部件进行摩擦接触。其还涉及用于制造物品的方法。

背景技术

已知的是用功能层涂覆微机械部件，该功能层旨在改善其摩擦学并使表面导电或耐磨。在导电层的情况下，最简单的解决方案是通常通过PVD沉积金属层。这种沉积通常相对较软并且在摩擦区域中容易磨损，例如在擒纵轮齿与擒纵叉石之间或杆凹口与冲击销之间的接触处。这种导电层从摩擦区域完全消失具有使导电层不连续且因此无用的缺点。

发明内容

本发明的目的是通过提出一种部件来克服上述缺点，该部件被构造在旨在经受摩擦的区域中，使得在使用期间即使有磨损也可以在摩擦区域和部件的剩余部分之间维持连续的导电层。

为此，在所述区域（也称为功能表面）中，部件具有由一系列涂覆有导电层的凹槽形成的结构。涂覆有导电层的凹槽或凹陷部分在包围功能表面的两个侧表面之间延伸，以形成与也涂覆有导电层的部件的各个表面连通的层。在磨损期间，导电层保留在凹槽的底部处，这维持了层的完整性和连续性。

优选地，在对部件进行机械加工的步骤期间使结构成扇形并生产。所使用的制造方法是DRIE（深反应离子蚀刻）工艺。该工艺导致在部件的蚀刻边缘上形成扇形或波纹。此扇形是本领域技术人员根据现有技术希望去除的工艺的固有缺陷。为此，通常在DRIE工艺之后进行旨在使扇形轮廓平滑的氧化和脱氧步骤。相反，根据本发明，省略该步骤以在部件的边缘上维持扇形轮廓。因此，根据本发明的制造方法使得可以在单个步骤中机械加工/蚀刻该部件并使表面纹理化。接下来，将导电层沉积在部件的所有表面上。各个表面上的涂层只能是局部的，只要它在部件的所有面上成整体或连续即可，以确保整个部件的导电性。

参考附图，在通过非限制性示例给出的优选实施例的以下描述中，本发明的其它特征和优点将明显。

附图说明

图1A和图1B示意性地表示部件的截面图和透视图，在这种情况下是擒纵叉石，在其旨在与另一部件接触的表面上具有根据本发明的扇形纹理。在图1A中所示的制造状态下，旨在与另一个部件接触的表面完全涂覆有导电层。磨损后，如图1B中示意性所示，导电层仅保留在纹理的凹槽中。

图2A是包括两个部件（擒纵轮/擒纵叉）的钟表系统的表示，其在齿和/或擒纵叉的边缘上具有根据本发明的纹理，其中导电层存在于凹槽中。图2B示意性地表示两个部件之一的机械加工边缘上的纹理，其中导电层在凹槽中。

图3以已知方式示意性地示出了实现以产生根据本发明的纹理的DRIE工艺的各个步骤。

具体实施方式

本发明涉及一种旨在在使用中经受摩擦的部件。更具体地，这是由非导电材料制成的部件，该部件旨在涂覆有导电层以便释放在摩擦期间累积的静电荷。例如，该材料可为硅基的。例如，在钟表学领域，可以例如列举系统中涉及的一个部件或两个部件：擒纵轮齿/擒纵叉石、杆凹口/冲击销等。还可能涉及旨在装配到钟表机芯的固定惯性摆轮的摆轮游丝。