[发明专利]一种大功率激光器用封装外壳制造工艺在审
| 申请号： | 202010441696.7 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111740300A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 张凤伟 | 申请（专利权）人： | 合肥圣达电子科技实业有限公司;中国电子科技集团公司第四十三研究所 |
| 主分类号： | H01S3/067 | 分类号： | H01S3/067 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 娄岳 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 激光 器用 封装 外壳 制造 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种大功率激光器用封装外壳的制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：
加工制作散热底板以及配件，对各配件进行净化后通过高温真空装置在930-950℃下进行高温负压处理；
在各配件表面进行第一次镀镍，并在920℃-980℃以及纯惰性气氛保护下进行高温考核处理；
在各配件表面进行第二次镀镍；
通过银铜钎焊、不锈钢模具将散热底板和各配件进行装配熔封。
2.根据权利要求1所述的一种大功率激光器用封装外壳的制造工艺，其特征在于，所述散热底板(1)采用无氧铜通过铣加工制成，所述配件包括底盘、环框(2)以及导管(3)，均采用不锈钢材料通过铣加工、冲制加工、线切割加工方式制成，装配熔封时可根据需要设置引线(4)。
3.根据权利要求1所述的一种大功率激光器用封装外壳的制造工艺，其特征在于，所述高温负压处理采用高温真空退火炉，真空度为10-3Pa，所述高温负压处理具体包括以下步骤：
以4-10℃升温速率将炉内温度从室温升到930-950℃；
保温90-150min后自然冷却。
4.根据权利要求1所述的一种大功率激光器用封装外壳的制造工艺，其特征在于，第一次镀镍的厚度为1.27-3.08μm，第二次镀镍的厚度为3.08-7.12μm。
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