[发明专利]一种晶体基材的封装方法在审
申请号: | 202010441763.5 | 申请日: | 2020-05-22 |
公开(公告)号: | CN111604611A | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 校金涛;陈基平 | 申请(专利权)人: | 福建科彤光电技术有限公司 |
主分类号: | B23K31/02 | 分类号: | B23K31/02;B23K37/00;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/24;C23C14/34;C30B29/22;C30B29/30 |
代理公司: | 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 | 代理人: | 吴德兰 |
地址: | 350014 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 基材 封装 方法 | ||
1.一种晶体基材的封装方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1:将晶体基材热沉外表面镀金,晶体底面镀金;
步骤2:然后将镀金的热沉装夹具,放入镀膜机真空腔,在钼舟中放入标准的铟料块材,采用直接加热蒸发镀制铟层;
步骤3:镀完后,立即晶体上盘,并放入真空回流焊中,以防止铟层氧化,等待焊接曲线完成后,取出晶体。
2.如权利要求1所述的一种晶体基材的封装方法,其特征在于,所述基材为铜、可伐合金或玻璃。
3.如权利要求1所述的一种晶体基材的封装方法,其特征在于,所述镀膜机的膜层材料为铟或锡。
4.如权利要求1所述的一种晶体基材的封装方法,其特征在于,所述晶体为三硼酸锂晶体(LBO)、偏硼酸钡晶体(BBO)或掺钕钒酸钇晶体(YVO4)。
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