[发明专利]激光芯片测试平台

权利要求书

1.激光芯片测试平台，用于测试设备内对激光芯片进行光功率和光谱测试，其特征在于，包括测试收光装置，用于接收激光芯片所发出的激光；所述测试收光装置一侧设置有XY轴芯片载料台，用于承载放置激光芯片，并为激光芯片提供测试所需的温度条件；所述XY轴芯片载料台侧面设置有可调节探针台，可调节探针台与XY轴芯片载料台电连接，用于给激光芯片加电发出激光；所述测试收光装置的另一侧面还设置有图像采集装置，用于采集激光芯片的位置信息；所述测试收光装置、XY轴芯片载料台、可调节探针台、图像采集装置均通过螺栓紧固于测试设备上，并且均连接于测试设备的控制系统；

所述测试收光装置包括光功率探测器，所述光功率探测器连接于测试设备的光功率测试系统，用于测试激光芯片的光功率；

所述测试收光装置包括耦合透镜和多模光纤，所述多模光纤的一端连接于耦合透镜，另一端连接于光谱分析仪，用于激光芯片的光谱测试。

2.如权利要求1所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述可调节探针台包括探针，可调节探针台电连接于测试设备的供电系统，探针电连接于XY轴芯片载料台上的激光芯片电极。

3.如权利要求1所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述测试收光装置还包括一基板，所述基板上设置有切换滑轨，所述切换滑轨上滑动连接有切换滑动座，所述切换滑动座可沿切换滑轨滑动。

4.如权利要求3所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述光功率探测器、耦合透镜和多模光纤均固定于切换滑动座上。

5.如权利要求3所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述基板一侧还设置有切换气缸，所述切换气缸与切换滑动座连接。

6.如权利要求3所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述光功率探测器包括一支撑座，所述支撑座固定于切换滑动座上。

7.如权利要求6所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述支撑座的上端开设有一圆形口，所述圆形口内固定有PD锁紧环，所述PD锁紧环上固定有PD探测器，所述PD探测器连接于测试设备的光功率测试系统。

8.如权利要求7所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述PD探测器的一侧设置有PD前盖，另一侧设置有PD后盖，所述PD前盖与PD后盖通过螺纹连接固定，PD探测器固定于PD前盖与PD后盖之间。

9.如权利要求1所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述XY轴芯片载料台包括第一直线模组和第二直线模组，所述第二直线模组垂直滑动连接于第一直线模组上，第一直线模组驱动第二直线模组移动，所述第二直线模组上滑动连接有控温治具。

10.如权利要求9所述的激光芯片测试平台，其特征在于，所述控温治具包括一治具主体，所述治具主体的上方两侧设置有两相向的斜面，两相向的斜面之间形成条形放置区，所述激光芯片放置于条形放置区上。