[发明专利]一种电化学机械抛光机

权利要求书

1.一种电化学机械抛光机，包括气缸（1）、导电环（5）、抛光头（7）、透明保护罩（8）、导电盘（9）、安装板（12）和安装框架（13）；其特征在于，所述气缸（1）通过安装板（12）与第一调速电机（2）相连接，并通过固定块（17）固定在安装框架（13）上，所述安装板（12）上固定有气缸活塞杆（16）和双直线导轨（4），所述双直线导轨（4）上安装有滑块（3）；所述导电环（5）与抛光头（7）通过上旋转轴（6）相连；所述第一调速电机（2）的输出轴通过上联轴器（18）与上旋转轴（6）相连接，所述上联轴器（18）与第一调速电机（2）和上旋转轴（6）之间的连接方式为键连接。

2.根据权利要求1所述的一种电化学机械抛光机，其特征在于，所述导电盘（9）与旋转盘（10）相连接，所述旋转盘（10）通过下旋转轴（14）与第二调速电机（15）相连，所述下旋转轴（14）通过下联轴器（19）与第二调速电机（15）相连接，所述第二调速电机（15）安装在安装框架（13）上。

3.根据权利要求1所述的一种电化学机械抛光机，其特征在于，所述导电环（5）由导电接口（20）、内圈（21）、外圈（23）和导电滚珠（22）四部分组成；内圈（21）内设有螺纹，可通过上旋转轴（6）上对应的螺纹固定在上旋转轴（6）上；当第一调速电机（2）工作时，与上旋转轴（6）固定的内圈（21）与上旋转轴（6）保持相对静止，随上旋转轴（6）一起做旋转运动，而外圈（23）不发生旋转；外界电流由导电接口（20）接入，通过内圈（21）、外圈（23）和导电滚珠（22）及导线传导至抛光工件上。

4.根据权利要求1所述的一种电化学机械抛光机，其特征在于，所述抛光头（7）工作时，在气缸（1）、第一调速电机（2）的作用下与抛光垫（11）相接触。

5.根据权利要求1所述的一种电化学机械抛光机，其特征在于，所述透明保护罩（8）底部中间开孔并与导电盘（9）相接触，其内部盛有抛光液；所述透明保护罩（8）底部外圈还设置了一道低于抛光垫（11）安装表面的环形沟槽。

6.根据权利要求1所述的一种电化学机械抛光机，其特征在于：所述导电盘（9）由导线、球形碳刷相连，经槽口（24）伸出，接入电化学工作站的负极；所述导电盘（9）旋转时，碳刷沿环形沟槽做圆周运动。

7.根据权利要求1所述的一种电化学机械抛光机，其特征在于，所述抛光垫（11）上开有沟槽和空洞，使抛光液与抛光垫（11）和导电盘（9）相连通。