[发明专利]多射束扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种用于检查样本的可变多射束带电粒子装置，其包括：

多射束源，其被配置成产生多个带电粒子细束；

样本固持器，其用于固持所述样本；

聚焦柱，其被配置成引导所述多个带电粒子细束以入射到所述样本上，其中所述聚焦柱引导所述多个带电细束使得存在所述多个带电粒子细束的一个或多个交叉，其中所述一个或多个交叉的每一交叉对应于所述多个带电粒子细束通过共同位置的点；

可变孔隙，其位于所述一个或多个交叉中的最接近于所述样本的最终交叉处，其中所述可变孔隙被配置成改变所述多个带电粒子细束的电流；以及

物镜，其中所述样本定位于所述物镜和所述多射束源之间。

2.根据权利要求1所述的可变多射束带电粒子装置，其中所述可变孔隙被配置成校正由于所述多个带电粒子细束的子组不沿着所述聚焦柱的中心轴行进所导致的透镜像差。

3.根据权利要求1所述的可变多射束带电粒子装置，其中所述可变孔隙定位于所述样本和所述多射束源之间的无慧差区中。

4. 根据权利要求1-3中任一项所述的可变多射束带电粒子装置，其中所述可变孔隙包括至少第一孔隙和具有与所述第一孔隙不同的尺寸的第二孔隙，所述可变多射束带电粒子装置被配置成在第一位置和第二位置之间平移所述可变孔隙，且其中：

当所述可变孔隙处于所述第一位置时，所述多个带电粒子细束的一个或多个带电粒子细束通过所述第一孔隙，且

当所述可变孔隙处于所述第二位置时，所述多个带电粒子细束的所述一个或多个带电粒子细束通过所述第二孔隙。

5. 根据权利要求4所述的可变多射束带电粒子装置，其中：

当所述多个带电粒子细束的所述一个或多个带电粒子细束通过所述第一孔隙时，所述多个带电粒子细束在入射到所述样本上时具有第一电流；且

当所述多个带电粒子细束的所述一个或多个带电粒子细束通过所述第二孔隙时，所述多个带电粒子细束在入射到所述样本上时具有不同于所述第一电流的第二电流。

6.根据权利要求1所述的可变多射束带电粒子装置，其中所述可变孔隙包括被配置成在第一状态和第二状态之间切换的可调整孔隙，且所述可调整孔隙在处于所述第二状态时具有与处于所述第一状态时不同的尺寸。

7. 根据权利要求6所述的可变多射束带电粒子装置，其中：

当所述可调整孔隙处于所述第一状态时，所述多个带电粒子细束在入射到所述样本上时具有第一电流；且

当所述可调整孔隙处于所述第二状态时，所述多个带电粒子细束在入射到所述样本上时具有不同于所述第一电流的第二电流。

8.根据权利要求1所述的可变多射束带电粒子装置，其中所述可变孔隙被配置成在单射束操作模式和多射束操作模式之间切换所述装置。

9. 根据权利要求8所述的可变多射束带电粒子装置，其中所述可变多射束带电粒子装置被配置成在第一位置和第二位置之间平移所述可变孔隙，且其中：

当所述可变孔隙处于所述第一位置时，所述可变多射束带电粒子装置在所述多射束操作模式中操作；且

当所述可变孔隙处于所述第二位置时，所述可变多射束带电粒子装置在所述单射束操作模式中操作。

10. 根据权利要求8所述的可变多射束带电粒子装置，其中所述可变多射束带电粒子装置被配置成在第一位置和第二位置之间平移所述最终交叉，且其中：

当所述最终交叉处于所述第一位置时，所述可变多射束带电粒子装置在所述多射束操作模式中操作；且

当所述最终交叉处于所述第二位置时，所述可变多射束带电粒子装置在所述单射束操作模式中操作。

11. 根据权利要求1所述的可变多射束带电粒子装置，其中所述多射束源包括：

源，其用于产生带电粒子的射束；以及

照明器，其被配置成将带电粒子的所述射束转换为所述多个带电粒子细束。