[发明专利]一种可变焦深激光切割头光学系统有效
申请号: | 202010443320.X | 申请日: | 2020-05-22 |
公开(公告)号: | CN111633325B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 谭羽;李明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | B23K26/046 | 分类号: | B23K26/046;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/38 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 王凯敏 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可变 焦深 激光 切割 光学系统 | ||
1.一种可变焦深激光切割头光学系统,其特征在于:
包括沿光路依次设置的锥透镜(1)、第一光学透镜(2)、第二光学透镜(3)和第三光学透镜(4);锥透镜(1)和第一光学透镜(2)之间为固定光学间距;第一光学透镜(2)和第二光学透镜(3)之间、第二光学透镜(3)和第三光学透镜(4)之间为可变光学间距;
锥透镜(1)用于产生无衍射光丝;
第一光学透镜(2)、第二光学透镜(3)和第三光学透镜(4)构成倒置变倍缩束系统,光焦度始终为零,随着光学间距的调整,所述倒置变倍缩束系统的光束缩小倍率为10x-20x;
锥透镜(1)入射面为平面,出射面为锥面,锥角角度为2°-5°,光学间距为2.52mm;
第一光学透镜(2)入射面为凸面,出射面为平面,入射面曲率半径为85.3mm,光学间距为8.26mm;
第二光学透镜(3)入射面为凹面,出射面为平面,入射面曲率半径为16.66mm,光学间距为2.14mm;
第三光学透镜(4)入射面和出射面均为凸面,并且入射面与出射面曲率半径均为38.43mm,光学间距为3.06mm;
锥透镜(1)和第一光学透镜(2)之间的光学间距为60mm;
第一光学透镜(2)和第二光学透镜(3)之间光学间距在134.8mm-146.6mm之间可调;第二光学透镜(3)和第三光学透镜(4)之间光学间距在5.2mm-15.7mm之间可调。
2.根据权利要求1所述的可变焦深激光切割头光学系统,其特征在于:锥透镜(1)、第一光学透镜(2)、第二光学透镜(3)和第三光学透镜(4)的面型精度小于0.005mm。
3.根据权利要求2所述的可变焦深激光切割头光学系统,其特征在于:锥透镜(1)、第一光学透镜(2)、第二光学透镜(3)和第三光学透镜(4)中,相邻两个光学元件之间的光学间距误差小于0.05mm。
4.根据权利要求3所述的可变焦深激光切割头光学系统,其特征在于:锥透镜(1)、第一光学透镜(2)、第二光学透镜(3)和第三光学透镜(4)的轴偏移均小于0.02mm,角度偏移小于0.5′。
5.根据权利要求4所述的可变焦深激光切割头光学系统,其特征在于:锥透镜(1)、第一光学透镜(2)、第二光学透镜(3)和第三光学透镜(4)均由熔融石英制成。
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