[发明专利]一种用于形成均匀光斑的透射式整形镜组

权利要求书

1.一种用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：包括光准直机构（1）和光整形机构（2），所述光准直机构（1）用于将入射光准直，所述光整形机构（2）用于将准直后的光线整形为所需的平顶光束。

2.如权利要求1所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述光准直机构（1）包括准直镜一（11）和准直镜二（12），所述准直镜一（11）和准直镜二（12）平行间隔排列，构成一组空气间隔的消像差透镜组。

3.如权利要求1所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述光整形机构（2）包括平行间隔排列的整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22），所述整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22）分别用于对入射光的X方向和Y方向做整形，便于形成均匀的二维平顶光斑。

4.如权利要求3所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22）的入射面（91）均为平面，出光面（92）均为多棱面，所述多棱面上设有n条棱（31），将多棱面分隔为n+1个棱镜面（32），所述n≥1；所述整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22）的多棱面上的棱（31）相互垂直。

5.如权利要求4所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述棱镜面（32）均为平整的平面。

6.如权利要求4所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述n为偶数，偶数条所述棱（31）将多棱面分隔为奇数个棱镜面（32），位于最中间的所述棱镜面（32）为中央棱镜面（321），其余为两侧棱镜面（322），所述中央棱镜面（321）与水平面平行，所述两侧棱镜面（322）对称分布在中央棱镜面（321）的两侧，从中央棱镜面（321）开始逐渐朝向入射面（91）一侧倾斜，使所有棱镜面（32）折射出的光线均在工作面上汇聚并完全重合。

7.如权利要求4所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述两侧棱镜面（322）与水平面的夹角为α，所述α最大为积分镜所采用的材质能够使垂直入射的光线发生折射的最大倾斜角度。

8.如权利要求3所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22）的材质均为熔融石英或光学玻璃；所述整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22）的横截面均呈正方形或圆形，作为优选，所述整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22）的横截面均呈正方形。

9.如权利要求3所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22）的入射面（91）均镀有高抗损伤增透膜（4）；所述整形棱镜一（21）和整形棱镜二（22）的厚度均为5-10mm，工作距离均为150-450mm。

10.如权利要求1所述的用于形成均匀光斑的透射式整形镜组，其特征在于：所述棱镜面（32）的宽度与所需获得的光斑的长度或宽度相等，最外侧的两个所述棱镜面（32）的宽度可以等于或小于其余棱镜面（32）的宽度。