[发明专利]一种实现金刚石单晶衬底表面取向的方法

权利要求书

1.一种实现金刚石单晶衬底表面取向的方法，其特征在于，体块金刚石采用高温高压法制备，所述方法包括：

获取所述体块金刚石的（100）晶面和（111）晶面；

根据衬底的目标表面的取向，确定所述衬底的目标表面与所述体块金刚石的（100）晶面或者（111）晶面的夹角；

根据所述夹角，确定夹具的固定端面与定位端面之间的夹角；

根据所述衬底的目标取向，确定所述固定端面相对于水平面的倾斜角、所述定位端面在所述固定端面上的设置位置，其中，所述体块金刚石加工后得到的片状衬底的偏向角度为衬底的目标取向；

将所述体块金刚石设置在所述夹具上，其中，所述体块金刚石中与所述目标表面相同的表面固定在所述固定端面上、与所述目标表面相邻的（100）晶面或者（111）晶面固定在所述定位端面上；

使激光沿水平方向入射，以将所述体块金刚石切割为片状的衬底。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底的目标表面为（100）晶面、目标取向为（110）偏（100）N°；其中：

确定衬底的目标表面与所述体块金刚石的（100）晶面或者（111）晶面的夹角；根据所述夹角，确定夹具的固定端面与定位端面之间的夹角；根据所述衬底的目标取向，确定所述固定端面相对于水平面的倾斜角、所述定位端面在所述固定端面上的设置位置，包括：

确定衬底的目标（100）晶面与所述体块金刚石的第二（100）晶面的夹角为90°，其中，所述体块金刚石的（100）晶面包括第一（100）晶面和第二（100）晶面，所述第一（100）晶面与所述衬底的目标（100）晶面相平行；

设置夹具的固定端面与定位端面之间的夹角为90°；

根据所述衬底的（110）偏（100）N°的取向，设置所述固定端面相对于水平面的倾斜角为N°、并将所述定位端面设置在所述固定端面的中线最低点处，其中，N大于或等于0且小于90。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，将所述体块金刚石设置在所述夹具上，包括：

将所述体块金刚石的所述第一（100）晶面固定在所述固定端面上、所述第二（100）晶面固定在所述定位端面上。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底的目标表面为（100）晶面、目标取向为（100）偏（110）N°；其中：

确定衬底的目标表面与所述体块金刚石的（100）晶面或者（111）晶面的夹角；根据所述夹角，确定夹具的固定端面与定位端面之间的夹角；根据所述衬底的目标取向，确定所述固定端面相对于水平面的倾斜角、所述定位端面在所述固定端面上的设置位置，包括：

确定衬底的目标（100）晶面与所述体块金刚石的第二（100）晶面的夹角为90°，其中，所述体块金刚石的（100）晶面包括第一（100）晶面和第二（100）晶面，所述第一（100）晶面与所述衬底的目标（100）晶面相平行；

设置夹具的固定端面与定位端面之间的夹角为90°；

根据所述衬底的（100）偏（110）N°的取向，设置所述固定端面相对于水平面的倾斜角为N°，将所述定位端面设置在所述固定端面的中线最低点处、所述定位端面与所述固定端面的最高点和最低点连线成45°夹角，其中，N大于或等于0且小于90。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，将所述体块金刚石设置在所述夹具上，包括：

将所述体块金刚石的所述第一（100）晶面固定在所述固定端面上、所述第二（100）晶面固定在所述定位端面上。