[发明专利]单晶硅片链式制绒用添加剂及其应用

权利要求书

1.单晶硅片链式制绒用添加剂，其特征在于，其各组分的质量百分含量为：聚乙烯亚胺0.2%～2.0%，岩藻聚糖0.5%～10%，聚丙烯酰胺0.1%～0.5%，聚醚胺0.1%～2.0%，余量为水。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片链式制绒用添加剂，其特征在于，所述聚乙烯亚胺选自分子量为600的聚乙烯亚胺、分子量为1800的聚乙烯亚胺、分子量为1000的聚乙烯亚胺、分子量为7000的聚乙烯亚胺中的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片链式制绒用添加剂，其特征在于，所述聚丙烯酰胺选自分子量为800万的阴离子聚丙烯酰胺、分子量为1000万的阴离子聚丙烯酰胺、分子量为1200万的阴离子聚丙烯酰胺中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的单晶硅片链式制绒用添加剂，其特征在于，所述聚醚胺为聚醚胺D230、聚醚胺D400中的一种或两种。

5.根据权利要求1所述的单晶硅片链式制绒用添加剂，其特征在于，所述水为去离子水。

6.单晶硅片链式制绒用制绒液，其特征在于，其含有碱溶液和权利要求1至5中任一项所述的添加剂，添加剂与碱溶液的质量比为0.5～2.5:100，碱溶液为无机碱的水溶液。

7.根据权利要求6所述的单晶硅片链式制绒用制绒液，其特征在于，所述碱溶液为2～5wt%的氢氧化钠或氢氧化钾水溶液。

8.单晶硅片链式制绒方法，其特征在于，利用权利要求6或7所述的制绒液对单晶硅片进行链式制绒。

9.根据权利要求8所述的单晶硅片链式制绒方法，其特征在于，其具体步骤包括：

1）配制添加剂：将质量百分含量为0.2%～2.0%的聚乙烯亚胺，0.5%～10%的岩藻聚糖，0.1%～0.5%的聚丙烯酰胺，0.1%～2.0%的聚醚胺加入到余量的水中，混合均匀配成添加剂；

2）配制制绒液：将步骤1）制成的添加剂加到碱溶液中，混合均匀配成制绒液；添加剂与碱溶液的质量比为0.5～2.5:100；碱溶液为无机碱的水溶液；

3）将单晶硅片平放输入链式制绒设备中，并采用步骤2）制得的制绒液对单晶硅片进行链式制绒，制绒温度为85～95℃，制绒时间为3～5min。

10.根据权利要求9所述的单晶硅片链式制绒方法，其特征在于，步骤3）中，制绒温度为90～95℃，制绒时间为3～3.5min。