[发明专利]液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器

权利要求书

1.一种液态金属薄膜电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1: 将弹性体介电层的两种组分按照比例混合，经过搅拌并除去气泡后，滴加在经表面活性剂处理的第一载体上，并进行旋涂处理；

步骤S2：对所述第一载体进行加热，在所述弹性体介电层未完全固化时粘贴导电胶带；

步骤S3：将液体金属喷涂在所述弹性体介电层上，形成液态金属电极，且所述液态金属电极与所述导电胶带相连；

步骤S4：在带有液态金属电极的弹性体介电层上加入定型体，形成第一液态金属弹性体复合电极，待固化后，将所述第一液态金属弹性体复合电极从所述第一载体上分离；还包括：

步骤step1：将第一液态金属弹性体复合电极置放在第二载体上，使所述第一液态金属弹性体复合电极中的弹性体介电层朝向所述第二载体，并将具有液态金属电极的条纹与所述第二载体的微孔对齐；

步骤step2：将所述第二载体及第一液态金属弹性体复合电极置放在真空环境中，先施加负压，然后增压，使所述第一液态金属弹性体复合电极向所述微孔内凹陷；

步骤step3：在所述凹陷内加入定型体，形成第二液态金属弹性体复合电极，待固化后，将所述第二液态金属弹性体复合电极从所述第二载体上分离。

2.根据权利要求1所述的液态金属薄膜电极的制备方法，其特征在于：所述的弹性体介电层和定型体所使用的材料是硅橡胶。

3.根据权利要求1所述的液态金属薄膜电极的制备方法，其特征在于：所述第一液态金属弹性体复合电极向所述微孔内凹陷的程度通过改变负压的大小进行调节。

4.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括第一液态金属弹性体复合电极以及第二液态金属弹性体复合电极，其中所述第一液态金属弹性体复合电极为平面结构，所述第二液态金属弹性体复合电极为拱形结构，且所述第二液态金属弹性体复合电极位于所述第一液态金属弹性体复合电极的上方，且将第一液态金属弹性体复合电极置放在第二载体上，使所述第一液态金属弹性体复合电极中的弹性体介电层朝向所述第二载体，并将具有液态金属电极的条纹与所述第二载体的微孔对齐；将所述第二载体及第一液态金属弹性体复合电极置放在真空环境中，先施加负压，然后增压，使所述第一液态金属弹性体复合电极向所述微孔内凹陷；在所述凹陷内加入定型体，形成第二液态金属弹性体复合电极，待固化后，将所述第二液态金属弹性体复合电极从所述第二载体上分离。

5.根据权利要求4所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一液态金属弹性体复合电极的液态金属条纹与所述第二液态金属弹性体复合电极的液态金属条纹相互垂直，且所述第二液态金属弹性体复合电极的拱形凸起与所述第一液态金属弹性体复合电极的液态金属条纹相互对齐。

6.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括权利要求4-5中任意一项所述的柔性压力传感器，且多个第一液态金属弹性体复合电极的数量为多个，且呈阵列式排布，第二液态金属弹性体复合电极的数量也为多个，且呈阵列式排布。

7.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括两个第二液态金属弹性体复合电极，其中一个作为底层电极，另一个作为顶层电极，且所述第二液态金属弹性体复合电极为拱形结构，且将第一液态金属弹性体复合电极置放在第二载体上，使所述第一液态金属弹性体复合电极中的弹性体介电层朝向所述第二载体，并将具有液态金属电极的条纹与所述第二载体的微孔对齐；将所述第二载体及第一液态金属弹性体复合电极置放在真空环境中，先施加负压，然后增压，使所述第一液态金属弹性体复合电极向所述微孔内凹陷；在所述凹陷内加入定型体，形成第二液态金属弹性体复合电极，待固化后，将所述第二液态金属弹性体复合电极从所述第二载体上分离。

8.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括权利要求7所述的柔性压力传感器，作为底层电极的第二液态金属弹性体复合电极的数量为多个，且呈阵列式排布，作为顶层电极的第二液态金属弹性体复合电极的数量也为多个，且呈阵列式排布。

9.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括权利要求6所述的柔性压力传感器或者权利要求8所述的柔性压力传感器中的任意一种，且作为基本单元，将所述柔性压力传感器进行多层的组装。