[发明专利]一种电磁式双反射镜MEMS光开关

权利要求书

1.一种电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：包括竖直设置的支撑框架，所述支撑框架的顶部和底部分别水平对应设有可通入正向电流或反向电流的顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈，所述顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈的绕线方向相同，且在通电时产生方向相同的电磁场，所述顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈的中心部位分别对应设有顶部坡莫合金铁芯和底部坡莫合金铁芯，所述支撑框架的中部的内壁连接有呈左右对称分布的、弹性的左双悬臂梁和右双悬臂梁，所述左双悬臂梁和右双悬臂梁之间连接有具有磁性的弹性平台，所述弹性平台的顶部和底部的中心部位分别对应垂直设有上光反射微镜和下光反射微镜，所述弹性平台上水平穿设有中央通孔。

2.根据权利要求1所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述支撑框架的顶部和底部分别水平对应设有顶部基底和底部基底，所述顶部平面驱动线圈设于顶部基底的底部，所述底部平面驱动线圈设于底部基底的顶部。

3.根据权利要求1所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈之间串联连接。

4.根据权利要求1所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈的中心部位分别对应设有两个顶部坡莫合金铁芯和两个底部坡莫合金铁芯。

5.根据权利要求1所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述弹性平台内设有磁性介质，所述磁性介质包括但不限于软磁体、硬磁体、永磁体。

6.根据权利要求5所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述磁性介质为永磁体。

7.根据权利要求1所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述左双悬臂梁和右双悬臂梁的材质为镍。

8.根据权利要求1所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述上光反射微镜和下光反射微镜是分别在弹性平台中心位置的上方和下方垂直微结构上溅射的一层金属反射膜。

9.根据权利要求1所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述上光反射微镜和下光反射微镜的水平方向上的角度相互垂直。

10.根据权利要求1所述的电磁式双反射镜MEMS光开关，其特征在于：所述的电磁式双反射镜MEMS光开关可以均匀分布形成光开关阵列。