[发明专利]一种铁磁/石墨烯/铁磁异质外延薄膜及其制备方法有效
申请号: | 202010455831.3 | 申请日: | 2020-05-26 |
公开(公告)号: | CN111647942B | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 潘孟春;彭俊平;胡悦国;李裴森;邱伟成;胡佳飞;陈棣湘 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | C30B29/02 | 分类号: | C30B29/02;C30B25/18;C30B33/02;C30B23/02;C23C14/30;C23C14/18;C23C14/58;H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 张丽娟 |
地址: | 410073 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 铁磁异质 外延 薄膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种铁磁/石墨烯/铁磁异质外延薄膜,其特征在于:具有两个石墨烯-铁磁外延界面,包括石墨烯层(3)以及分别位于石墨烯层(3)上、下表面的第二异质铁磁层(4)和第一异质铁磁层(2),所述石墨烯层(3)利用第一异质铁磁层(2)晶体表面势场在第一异质铁磁层(2)上直接外延生长得到,所述第二异质铁磁层(4)利用第一异质铁磁层(2)晶体表面势场在石墨烯层(3)上跨界诱导外延生长得到;
所述第一异质铁磁层(2)和/或第二异质铁磁层(4)为具有单晶结构特性且与石墨烯晶格常数相匹配的铁磁材料层;所述第二异质铁磁层(4)的铁磁材料晶格对称性与第一异质铁磁层(2)的铁磁材料晶格对称性一致;
铁磁/石墨烯/铁磁异质外延薄膜由以下步骤制备得到:
S1、在经过预处理且具有六角晶格属性的绝缘基底(1)上生长第一异质铁磁层(2);
S2、对第一异质铁磁层(2)进行预处理,使第一异质铁磁层(2)单晶化;所述步骤S2中,所述预处理为退火处理,保护气氛为氢气和惰性气体的混合气体,温度为800~1000℃,时间为0.5~2h;
S3、以单晶化的第一异质铁磁层(2)为金属催化衬底,将金属催化衬底置于化学气相沉积系统中,在惰性气体、氢气和碳源气体的保护氛围下,于750~950℃温度下,利用第一异质铁磁层(2)的晶体表面势场,在第一异质铁磁层(2)上直接诱导外延生长石墨烯层(3),得到铁磁/石墨烯异质外延薄膜;
S4、利用第一异质铁磁层(2)晶体表面势场,在石墨烯层(3)上跨界诱导外延生长第二异质铁磁层(4);所述步骤S4中,采用电子束蒸发法在石墨烯层(3)上诱导外延生长第二异质铁磁层(4);生长过程中,真空度小于5×10-4 Pa,基底温度为320℃,沉积速率为0.05~0.5 nm/s;
S5、对第二异质铁磁层(4)进行退火处理,使第二异质铁磁层(4)单晶化,得到铁磁/石墨烯/铁磁异质外延薄膜;所述步骤S5中,所述退火处理时,绝缘基底的温度为400~500℃,时间为0.5~2h。
2.根据权利要求1所述的铁磁/石墨烯/铁磁异质外延薄膜,其特征在于:所述铁磁材料为镍或钴。
3.根据权利要求1至2中任一项所述的铁磁/石墨烯/铁磁异质外延薄膜,其特征在于:所述石墨烯层(3)为单层。
4.一种根据权利要求1至3中任一项所述的铁磁/石墨烯/铁磁异质外延薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1、在经过预处理且具有六角晶格属性的绝缘基底(1)上生长第一异质铁磁层(2);
S2、对第一异质铁磁层(2)进行预处理,使第一异质铁磁层(2)单晶化;所述步骤S2中,所述预处理为退火处理,保护气氛为氢气和惰性气体的混合气体,温度为800~1000℃,时间为0.5~2h;
S3、以单晶化的第一异质铁磁层(2)为金属催化衬底,将金属催化衬底置于化学气相沉积系统中,在惰性气体、氢气和碳源气体的保护氛围下,于750~950℃温度下,利用第一异质铁磁层(2)的晶体表面势场,在第一异质铁磁层(2)上直接诱导外延生长石墨烯层(3),得到铁磁/石墨烯异质外延薄膜;
S4、利用第一异质铁磁层(2)晶体表面势场,在石墨烯层(3)上跨界诱导外延生长第二异质铁磁层(4);所述步骤S4中,采用电子束蒸发法在石墨烯层(3)上诱导外延生长第二异质铁磁层(4);生长过程中,真空度小于5×10-4 Pa,基底温度为320℃,沉积速率为0.05~0.5 nm/s;
S5、对第二异质铁磁层(4)进行退火处理,使第二异质铁磁层(4)单晶化,得到铁磁/石墨烯/铁磁异质外延薄膜;所述步骤S5中,所述退火处理时,绝缘基底的温度为400~500℃,时间为0.5~2h。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述步骤S1中,采用电子束蒸发法在绝缘基底(1)上生长第一异质铁磁层(2);生长过程中,真空度小于5×10-4 Pa,绝缘基底的温度为室温至600℃,沉积速率为0.05~0.5 nm/s。
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