[发明专利]沉积设备及沉积方法、沉积设备中温度检测点的确定方法

权利要求书

1.一种沉积设备，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体具有沉积腔室；

位于所述沉积腔室内的加热装置；

位于所述加热装置上方的载盘，所述载盘背离所述加热装置一侧表面用于放置衬底，所述加热装置用于给所述载盘进行加热，以通过所述载盘给所述衬底加热；

位于所述壳体外的温度检测装置，所述温度检测装置位于所述载盘背离所述加热装置一侧，用于检测所述沉积腔室内的温度；

其中，所述沉积腔室沿预设方向划分成M个温场，所述M个温场嵌套分布，M为大于1的整数；所述温度检测装置包括多个温度检测元件，所述温度检测元件与所述温场一一对应，用于检测其对应温场的温度。

2.根据权利要求1所述的沉积设备，其特征在于，所述载盘的直径为Xmm，所述第1温度检测元件到所述载盘中心的距离A₁取值范围为0.04X～0.1X，包括端点值；

第n温度检测元件到所述载盘中心的距离An取值范围为1.5nA₁～4nA₁，包括端点值；

所述第n温度检测元件到所述载盘中心的距离A_n大于第n-1温度检测元件到所述载盘中心的距离A_n-1，n为大于1，且不大于M的整数。

3.根据权利要求1所述的沉积设备，其特征在于，所述壳体朝向温度检测装置一侧设置有沿所述载盘半径方向延伸的滑槽，所述温度检测元件通过固定装置固定在所述滑槽内。

4.根据权利要求3所述的沉积设备，其特征在于，所述固定装置包括：

固定支架，所述固定支架的第一端固定所述温度检测元件；

位于所述固定支架的第二端的固定件，所述固定件包括第一固定件和第二固定件；

位于所述固定支架上的控制按钮，在所述控制按钮被触发时，所述固定装置在第一状态和第二状态之间切换；

所述固定件具有沿第一方向贯穿所述固定支架的通孔，在所述第一状态下，所述第一固定件和所述第二固定件位于所述通孔内，所述固定装置与所述壳体的滑槽分离，在所述第二状态下，所述第一固定件和所述第二固定件从所述通孔中伸出，所述固定装置与在所述壳体的滑槽固定连接。

5.根据权利要求4所述的沉积设备，其特征在于，所述控制按钮包括第一按钮和第二按钮，所述第一按钮被触发时，所述固定装置从所述第一状态切换至所述第二状态，所述第二按钮被触发时，所述固定装置从所述第二状态切换至所述第一状态。

6.根据权利要求3-5任一项所述的沉积设备，其特征在于，所述滑槽上具有定位标识。

7.根据权利要求1所述的沉积设备，其特征在于，所述壳体朝向所述温度检测装置的一侧具有透光区域，所述温度检测元件透过所述透光区域向所述沉积设备的沉积腔室内发射光线，并接收所述沉积腔室内反射的光线，以基于其发射光线和接收的反射光线检测其对应温场的温度。

8.根据权利要求1所述的沉积设备，其特征在于，所述M个温场包括第一温场、第二温场和第三温场，所述第二温场包围所述第一温场，所述第三温场包围所述第二温场；

所述加热装置包括第一加热元件、第二加热元件和第三加热元件，所述第一加热元件用于给所述第一温场的第一区域加热，所述第二加热元件用于给所述第一温场的第二区域、所述第二温场以及所述第三温场的第一区域加热，所述第三加热元件用于给所述第三温场的第二区域加热；

其中，所述第一温场的第一区域为所述第一温场1/3半径之内的区域，所述第一温场的第二区域为所述第一温场1/3半径至所述第一温场和所述第二温场分界线的区域；所述第三温场的第一区域为所述第二温场与所述第三温场边界线到所述第三温场的2/3半径之内的区域，所述第三温场的第二区域为所述第三温场剩余的1/3半径之内的区域。