[发明专利]双面散热功率模块及其双面平行度的控制方法在审
申请号: | 202010456622.0 | 申请日: | 2020-05-26 |
公开(公告)号: | CN111584443A | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 陆熙 | 申请(专利权)人: | 忱芯科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/373;H01L21/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200120 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双面 散热 功率 模块 及其 平行 控制 方法 | ||
1.双面散热功率模块,其特征在于,包括:第一基板(11)、第二基板(12)、位于第一基板(11)和第二基板(12)之间的芯片(2),及连接于所述第一基板(11)或第二基板(12)的功率端子及控制端子,所述芯片(2)键合实现电气连接,所述第一基板(11)及第二基板(12)背离芯片(2)的一面分别贴合设有弹性绝缘导热层(4),两层所述弹性绝缘导热层(4)背离芯片(2)的一面相互平行。
2.根据权利要求1所述的双面散热功率模块,其特征在于,通过填充材料封装填充,两层所述弹性绝缘导热层(4)背离芯片(2)的一面延伸出所述填充材料的外表面。
3.双面散热功率模块,其特征在于,包括:第一基板(11)、第二基板(12)、位于第一基板(11)和第二基板(12)之间的芯片(2),及连接于所述第一基板(11)或第二基板(12)的功率端子及控制端子,所述芯片(2)键合实现电气连接,所述第一基板(11)及第二基板(12)背离芯片(2)的一面分别贴合设有弹性绝缘导热层(4),两层所述弹性绝缘导热层(4)背离芯片(2)的一面分别贴合设有外层导热板(5),两层所述外层导热板(5)背离芯片(2)的一面相互平行。
4.根据权利要求3所述的双面散热功率模块,其特征在于,通过填充材料封装填充,两层所述外层导热板(5)背离芯片(2)的一面延伸出所述填充材料的外表面。
5.根据权利3所述的双面散热功率模块,其特征在于,所述外层导热板(5)为金属板或陶瓷板。
6.根据权利1至5中任一所述的双面散热功率模块,其特征在于,所述弹性绝缘导热层(4)为环氧树脂绝缘导热层。
7.根据权利1至5中任一所述的双面散热功率模块,其特征在于,所述第一基板(11)设有第一电路层,所述芯片(2)焊接于所述第一电路层对应位置。
8.根据权利7所述的双面散热功率模块,其特征在于,所述第二基板(12)设有第二电路层,另外设有金属垫片(3),所述芯片(2)和/或所述第一电路层通过所述金属垫片(3)与所述第二电路层的相应端口连接。
9.权利要求2或8所述的双面散热功率模块双面平行度的控制方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:依次叠合弹性绝缘导热层(4)、第一基板(11)、芯片(2)、第二基板(12),通过金属垫片(3)连接芯片(2)、第二基板(12)和/或连接第一基板(11)、第二基板(12),再于第二基板(12)上叠合弹性绝缘导热层(4);
S2:置于模具并压合上下模,使两层弹性绝缘导热层(4)形变至其背离芯片(2)的一面均贴合模具,且相互平行;
S3:注入填充材料,封装填充。
10.权利要求4或8所述的双面散热功率模块双面平行度的控制方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:依次叠合外层导热板(5)、弹性绝缘导热层(4)、第一基板(11)、芯片(2)、第二基板(12),通过金属垫片(3)连接芯片(2)、第二基板(12)和/或连接第一基板(11)、第二基板(12),再于第二基板(12)上依次叠合弹性绝缘导热层(4)及外层导热板(5);
S2:置于模具并压合上下模,使两层弹性绝缘导热层(4)形变至外层导热板(5)背离芯片(2)的一面均贴合模具,且使外层导热板(5)背离芯片(2)的一面相互平行;
S3:注入填充材料,封装填充。
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