[发明专利]一种大转角高频率一维电磁驱动微镜在审
| 申请号： | 202010458728.4 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111474707A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 余晖俊;沈文江 | 申请（专利权）人： | 中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 苏州思睿晶华知识产权代理事务所(普通合伙) 32403 | 代理人： | 阮俊敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 转角 频率 电磁 驱动 | ||
【权利要求书】：
1.一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，其特征在于：包括驱动外框、驱动线圈、外框扭转轴、内部镜面和内部扭转轴；所述驱动线圈固定安装在驱动外框内部；所述外框扭转轴一端伸出驱动外框，另一端穿过驱动线圈向内延伸；所述外框扭转轴向内延伸端与内部扭转轴连接；所述内部镜面通过内部扭转轴安装在驱动外框内；所述外框扭转轴上设有驱动导线；所述驱动导线将驱动信号引入驱动线圈；所述驱动线圈控制内部扭转轴驱动使内部镜面发生偏转运动。
2.如权利要求1所述的一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，其特征在于：所述驱动外框及内部镜面具有不同的工作频率。
3.如权利要求1所述的一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，其特征在于：所述驱动导线为沉积金属。
4.如权利要求3所述的一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，其特征在于：所述沉积金属的厚度为10um-30um。
5.如权利要求1所述的一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，其特征在于：所述驱动外框及内部镜面转动时不同步转动。
6.如权利要求1所述的一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，其特征在于：所述驱动线圈通过梯度磁场的驱动方式提供驱动力，驱动力大于1mN。
7.如权利要求1所述的一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，其特征在于：所述驱动线圈形变受到的应力小于200MPa。
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