[发明专利]基于校准样本的标识的自动化工作流

说明书

基于校准样本的标识的自动化工作流。提出了一种用于校准显微镜系统的方法和对应的校准系统。该方法包括记录显微镜系统的样本台的概览图像和在所记录的概览图像中标识校准样本。此外，该方法包括借助于分类系统将所记录的概览图像中的校准样本分类为多个校准样本类别中的一个，该分类系统使用训练数据被训练，以便形成模型，使得该分类系统被适配用于将未知的输入数据分类为预测类别。此外，该方法包括基于经分类的校准样本类别来选择用于校准显微镜系统的校准工作流，其中借助于工作流指示值来执行该选择，该工作流指示值用作用于工作流选择系统的输入值。此外，该方法可以包括校准显微镜系统的部件。

技术领域

本发明涉及显微镜系统的校准，以及特别是涉及用于校准显微镜系统的计算机实现的方法、对应的校准系统和对应的计算机程序产品。

背景技术

显微镜系统不仅仅被用于成像，而是也越来越多地被用于测量目的。此外，成像系统的数据正越来越多地被用于获得统计数据（更大数量的测量以利用事实/统计来核实结果、或用于零件制造的QM等等），这也需要使用各种系统（并行化）。附加地，在例如物镜的情况下存在制造范围（NA和放大率、不同的CORR环设置），当使用不同的显微镜时，所述制造范围提供不同的结果。

由于这个原因，光学系统不得不被校准，以便再次抵消例如来自制造或运行操作的变化。制造公差的紧缩将与客户不再能接受或支付的成本的巨大增加有关。另外的问题是，随着时间推移，部件老化或由于不正确的使用所导致的损失性能，诸如例如LED或激光器的激发功率、机械部件的定位、过滤器性能和检测器的灵敏度。随着时间推移，这些修改必须被适配用于测量日志。

附加地，成像设施表示不断增长的客户群。成像设施为相对大的区域客户基础提供成像系统，所述成像系统的使用必须由客户支付。作为回报，成像设施使操作系统对用户可用，并且提供与应用相关的辅助。由于这个原因，例如在成像设施中，系统的状态每周被检查和确定。这意味着在时间和人员方面的大的支出，这对于许多设施而言正成为越来越大的问题，因为测量也正变得越来越全面（PSF物镜、光输出、分辨率、照明、重新定位等）。

此外，校准在如下主题中起重要作用：（i）借助于概览相机的样本导航-这里，校准对于校正概览相机的畸变和视角以及对于确定概览相机相对于载物台和物镜的相对位置而言是必要的-以及（ii）相关工作流（=穿梭和找到（shuttle-and-find）=在多个显微镜中使用样本）。这里，样本载体具有确定的校准标记，借助于这些校准标记，尤其，精确地确定样本载体的相对位置、类型和另外的特征是可能的。

先前的校准方法经常具有多个缺点：通常，必须用手并且明确地开始校准；附加地，不得不用手或者借助于手册来选择校准样本。在该过程中，作为不正确的操作（用于特定校准的错误样本）或数据的不正确的分析（不同的算法、测量点）的结果，可能存在不正确的校准。

此外，必须手动驱动校准样本的相关区域，或者校准样本必须精确地位于限定的位置处，以便基于来自数据库的信息驱动至区域。此外，可能是如下情况：校准样本的正确对齐/相对位置没有得以确保和/或不存在校准工作流对系统配置的适配。这里，使校准工作流适配于显微镜系统的配置（例如，不同的载物台、过滤器、光源……）对于良好的结果而言是必要的。此外，可能存在校准措施的再现性的缺乏，因为用户完全用手实施了这些校准措施。

此外，应当考虑的是对显微镜系统的服务需要受过教育的用户，并且对于某人而言获得必要的知识可能花费很长时间。此外，在多个系统安装的情况下，需要大量的时间和人员支出，因为除了经由远程服务的有限的服务/辅助之外的服务经常是不可能的。

此外，对于校准样本的自动标识而言需要使校准样本配备有例如RFID技术。

因此，在本文中提出的方案的基本目的包括自动开始显微镜系统的校准和自动选择用于显微镜系统的校准的适合的工作流，以便因此简化、标准化校准任务和提高校准任务的效率和准确性。此外，应当监视并且在必要时记录校准过程的具体性能。

发明内容