[发明专利]一种太阳能电池片的双激光热裂切割装置及热裂切割方法

权利要求书

1.一种太阳能电池片的热裂切割方法，其特征在于，包括以下步骤：

沿预定的切割路径，利用第一激光束在待切割太阳能电池片的两侧边缘分别进行烧蚀，以形成初始凹槽；

利用第二激光束加热待切割太阳能电池片，从而在待切割太阳能电池片上形成热斑；

使第二激光束与待切割太阳能电池片彼此相对运动，从而在待切割太阳能电池片上形成热斑线，所述热斑线的起点位于所述待切割太阳能电池片的一侧初始凹槽，所述热斑线的终点位于所述待切割太阳能电池片的另一侧初始凹槽；

通过局部施加冷却介质冷却所述待切割太阳能电池片上的热斑，从而使待切割太阳能电池片沿热斑线开裂；

其中，真空单元采用分工序分段控制，在利用第一激光束在待切割太阳能电池片的两侧边缘分别进行烧蚀过程中，真空单元以-30~-100KPa的气压值吸附待切割太阳能电池片，在利用第二激光束加热待切割太阳能电池片过程中，真空单元以-5~-30KPa的气压值吸附待切割太阳能电池片。

2.根据权利要求1所述的一种热裂切割方法，其特征在于，在烧蚀初始凹槽步骤前或第二激光束加热所述待切割太阳能电池片前还包括步骤：

将待切割太阳能电池片加热至预定温度T1。

3.根据权利要求2所述的一种热裂切割方法，其特征在于，所述预定温度T1为30-150℃。

4.根据权利要求3所述的一种热裂切割方法，其特征在于，所述初始凹槽的深度为所述待切割太阳能电池片厚度的5%-80%，所述初始凹槽的长度为0. 1-10mm。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的一种热裂切割方法，其特征在于，所述第一激光束采用纳秒或皮秒脉冲激光。

6.根据权利要求5所述的一种热裂切割方法，其特征在于，所述第二激光束采用CW模式光纤激光或半导体激光。

7.一种太阳能电池片的双激光热裂切割装置，其特征在于，至少包括：

第一激光单元，利用所述第一激光单元发射第一激光束照射于待切割太阳能电池片的表面，在所述待切割太阳能电池片的两侧边缘分别制造出初始凹槽，所述初始凹槽之间的连线形成预定的切割路径；

第二激光单元，其用于所述待切割太阳能电池片的沿所述切割路径的热激光束分离；

冷却单元，被配置为提供冷却介质，位于所述第二激光单元的激光束的后方，以在所述第二激光单元的激光束之后冷却所述待切割太阳能电池片；

控制器，被配置为控制所述第一激光单元、第二激光单元和冷却单元；所述控制器用于控制所述第一激光单元在所述待切割太阳能电池片上产生初始凹槽，以及用于随后执行的所述热激光束分离，所述热激光束分离和施加冷却介质冷却所述待切割太阳能电池片同时进行作业；

载片装置，所述载片装置用于承载和/或移动所述待切割太阳能电池片；

真空单元，用于将所述待切割太阳能电池片吸附在所述载片装置上，其中真空单元采用分工序分段控制，在利用第一激光束在待切割太阳能电池片的两侧边缘分别进行烧蚀过程中，真空单元以-30~-100KPa的气压值吸附待切割太阳能电池片，在利用第二激光束加热待切割太阳能电池片过程中，真空单元以-5~-30KPa的气压值吸附待切割太阳能电池片。

8.根据权利要求7所述的双激光热裂切割装置，其特征在于，还包括加热单元，所述加热单元用于在第二激光束加热所述待切割太阳能电池片前将所述待切割太阳能电池片加热至预定温度T1。

9.根据权利要求8所述的双激光热裂切割装置，其特征在于，所述载片装置内设置有所述加热单元和所述真空单元。