[发明专利]一种功率半导体器件的功率循环测试系统及方法

权利要求书

1.一种功率半导体器件的功率循环测试系统，其特征在于，

所述测试系统包括电源模块、驱动模块、测试模块，

所述测试模块，用于安装一个或多个所述功率半导体器件；

所述电源模块，用于提供所述功率半导体器件的电压电流；

所述驱动模块，用于控制所述功率半导体器件进行通断；

所述测试模块包括至少一组第一端口、第二端口、第三端口和第四端口；

所述电源模块正极与第一端口连接，所述电源模块的负极与第二端口连接；

所述第三端口与相应的第四端口之间用于接入被测试的功率半导体器件；

所述第一端口与第三端口连通，所述第二端口与第四端口连通；

所述电源模块包括N条电流源支路和N条电压源支路；其中，N≥2；

所述N条电流源支路共用一个电流源，用于提供测试过程中的电流。

2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，

每条电压源支路分别包括一个电压源，用于提供测试过程中的电压；

所述测试模块包括N条测试支路，每条测试支路分别包括所述第一端口和第二端口；

每条测试支路分别包括所述第三端口和第四端口；

N条所述电流源支路中的第i条电流源支路的正极与第i条测试支路的第一端口连接，N条所述电流源支路中的第i条电流源支路的负极与第i条测试支路的第二端口连接；

N条所述电压源支路中的第i条电压源支路的正极与第i条测试支路的第一端口连接，N条所述电压源支路中的第i条电压源支路的负极与第i条测试支路的第二端口连接；

其中，N≥i≥2。

3.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，

所述电源模块包括N条电流源支路和N条电压源支路；

所述N条电流源支路中每条电流源支路共用一个电流源，用于提供测试过程中的电流；

所述N条电压源支路中每条电压源支路共用一个电压源，用于提供测试过程中的电压；

所述测试模块包括N条测试支路，每条测试支路分别包括所述第一端口和第二端口；每条测试支路分别包括所述第三端口和第四端口；

所述N条电流源支路中的第i条电流源支路的正极与第i条测试支路的第一端口连接，所述N条电流源支路中的第i条电流源支路的负极与第i条测试支路的第二端口连接；

所述N条电压源支路中的第i条电压源支路的正极与第i条测试支路的第一端口连接，所述N条电压源支路中的第i条电压源支路的负极与第i条测试支路的第二端口连接；

其中，N≥i≥2。

4.根据权利要求2所述的测试系统，其特征在于，

所述电源模块包括第一电压源支路、第二电压源支路、第一电流源支路、第二电流源支路；所述第一电压源支路包括第一电压源，第二电压源支路包括第二电压源，第二电流源支路和第一电流源支路均连接于同一电流源；

所述测试模块包括第一测试支路和第二测试支路；

所述第一电压源支路的正极与第一测试支路的第一端口连接，所述第一电压源支路的负极与第一测试支路的第二端口连接；

所述第二电压源支路的正极与第二测试支路的第一端口连接，所述第二电压源支路的负极与第二测试支路的第二端口连接；

所述第一电流源支路的正极与第一测试支路的第一端口连接，所述电流源支路的负极与第一测试支路的第二端口连接；

所述第二电流源支路的正极与第二测试支路的第一端口连接，所述第二电流源支路的负极与第二测试支路的第二端口连接；

所述第一电流源支路包括第一开关部件，所述第一开关部件用于控制所述第一测试支路与所述第一电流源支路之间的通断；

所述第二电流源支路包括第二开关部件，所述第二开关部件用于控制所述第二测试支路与所述第二电流源支路之间的通断。

5.根据权利要求4所述的测试系统，其特征在于，所述测试系统包括开关控制部件，所述开关控制部件用于控制所述第一开关部件和第二开关部件同步通断。