[发明专利]一种格栅式扫描致动器及光纤扫描器

权利要求书

1.一种格栅式扫描致动器，包括底座、以及依次连接的第一致动部和第二致动部，所述的第一致动部为慢轴致动部，其自由端相对于其固定端沿垂直于第一方向的第二方向振动；所述的第二致动部为快轴致动部，其自由端相对于其固定端沿垂直于第一方向的第三方向振动，第二方向垂直于第三方向，其特征在于，所述的第一致动部具有弯曲刚度增强结构，所述的弯曲刚度增强结构用于增大第一致动部在第三方向上的弯曲刚度，或所述的弯曲刚度增强结构用于增大第一致动部在第三方向上的弯曲刚度并减小第一致动部在第二方向上的弯曲刚度，使得第一致动部在第三方向上的弯曲刚度远大于第一致动部在第二方向上的弯曲刚度。

2.如权利要求1所述的一种格栅式扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部和第二致动部均为压电致动器，所述的第一致动部和第二致动部沿第一方向的两端均分别为固定端和自由端，第二致动部的固定端和第一致动部的自由端固定连接，第一致动部的固定端与底座固定连接。

3.如权利要求1所述的一种格栅式扫描致动器，其特征在于，所述的弯曲刚度增强结构包括截面为等腰三角形、沿第一方向延伸的杆状的主体，所述的主体包括沿第一方向延伸且垂直于第二方向的底面和两个沿第一方向延伸的斜面，两个斜面间的夹角为钝角，所述的底面贴覆有双压电晶片，主体在双压电晶片的驱动下，其自由端相对于其固定端沿第二方向振动。

4.如权利要求3所述的一种格栅式扫描致动器，其特征在于，顶角为钝角的等腰三角形截面使得第一致动部在第二方向上的厚度小于在第三方向上的宽度，所述的厚度使得第一致动部在第二方向上的弯曲刚度明显小于其在第三方向上的弯曲刚度，所述的宽度使得其在第三方向上的弯曲刚度明显大于其在第二方向上的弯曲刚度。

5.如权利要求1所述的一种格栅式扫描致动器，其特征在于，所述的弯曲刚度增强结构包括截面为矩形、沿第一方向延伸的片条状主体，所述的片条状主体在第二方向上的厚度小于在第三方向上的宽度，片条状主体垂直于第二方向的表面中，至少有一个表面贴覆有双压电晶片，片条状主体在双压电晶片的驱动下，其自由端相对于其固定端沿第二方向振动。

6.如权利要求5所述的一种格栅式扫描致动器，其特征在于，所述的厚度使得第一致动部在第二方向上的弯曲刚度明显小于其在第三方向上的弯曲刚度，所述的宽度使得其在第三方向上的弯曲刚度明显大于其在第二方向上的弯曲刚度。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的一种格栅式扫描致动器，其特征在于，所述的弯曲刚度增强结构包括均匀分布于第一致动部内部的沿第三方向延伸的加强件，所述的加强件的弹性模量大于第一致动部的弹性模量。

8.如权利要求7所述的一种格栅式扫描致动器，其特征在于，所述的加强件包括加强筋、加强条和加强纤维中的一种或多种。

9.如权利要求1所述的一种格栅式扫描致动器，其特征在于，所述的弯曲刚度增强结构包括多个单元模块构成的片条状主体，多个单元模块沿第一方向依次连接，任意两个相邻的单元模块间通过第三方向延伸的铰接轴铰接，所述的铰接轴的弹性模量大于单元模块的弹性模量，片条状主体垂直于第二方向的表面中，至少有一个表面贴覆有双压电晶片，片条状主体在双压电晶片的驱动下，其自由端相对于其固定端沿第二方向振动。

10.一种光纤扫描器，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的格栅式扫描致动器和光纤，光纤以悬臂支撑的方式与第二致动部的自由端固定连接，以光纤的出光端为前端，光纤的前部超出第二致动部的自由端形成光纤悬臂，光纤位于光纤悬臂后侧的部分与第二致动部固定连接。