[发明专利]基于液态金属的可重构超表面及其制造方法

权利要求书

1.基于液态金属的可重构超表面，其特征在于，包括超表面本体、微流道单元和驱动控制单元，所述超表面本体上阵列设置有多个所述微流道单元，所述微流道单元中具有供液态金属流动的流动通道，所述驱动控制单元用于控制液态金属在所述流动通道中的流动位置及形状；其中，每个所述微流道单元的流动通道相互独立并且不相连通，所述可重构超表面包括多个所述驱动控制单元，且每个所述微流道单元与每个所述驱动控制单元一一对应设置，每个所述驱动控制单元独立控制与其对应的微流道单元中液态金属的流动位置及形状；所述微流道单元的流动通道中预置有导电液，所述驱动控制单元包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极通过所述导电液与所述微流道单元的流动通道中液态金属电性连接，根据所述第一电极和所述第二电极上施加电压大小来动态调节液态金属在所述微流道单元的流动通道中的流动位置及形状；所述第一电极和所述第二电极形成于所述超表面本体的底部，所述超表面本体的介质层中设置有与所述流动通道连通的通孔，所述第一电极和所述第二电极引线穿过所述通孔与液体金属电性连接。

2.如权利要求1所述的基于液态金属的可重构超表面，其特征在于，所述微流道单元的流动通道的形状为十字型、开口谐振环型或者一字型。

3.如权利要求1所述的基于液态金属的可重构超表面，其特征在于，所述多个微流道单元的流动通道的形状相同或不同。

4.如权利要求1所述的基于液态金属的可重构超表面，其特征在于，所述驱动控制单元控制液态金属在所述微流道单元中的流动控制方式包括电磁、电压和/或压力。

5.如权利要求1所述的基于液态金属的可重构超表面，其特征在于，还包括密封结构，所述密封结构将液态金属密封于所述微流道单元的流动通道中。

6.如权利要求1所述的基于液态金属的可重构超表面，其特征在于，所述导电液为酸性或碱性溶液，并且所述导电液在液态金属之前注入所述微流道单元的流动通道中。

7.基于液态金属的可重构超表面的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)在柔性介质层上形成多个微流道单元形成的阵列；其中，所述微流道单元中具有供液态金属流动的流动通道，所述微流道单元的流动通道之间相互独立并且不相连通；

2)在每个所述微流道单元的流动通道中分别注入导电液和液态金属；

3)在柔性介质层下面形成多个驱动控制单元；其中，每个所述驱动控制单元与每个所述微流道单元一一对应设置，每个所述驱动控制单元独立控制与其对应的微流道单元中液态金属的流动位置及形状；所述驱动控制单元包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极通过所述导电液与所述微流道单元的流动通道中液态金属电性连接，根据所述第一电极和所述第二电极上施加电压大小来动态调节液态金属在所述微流道单元的流动通道中的流动位置及形状。