[发明专利]光阻喷嘴更换装置

说明书

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种光阻喷嘴更换装置。光阻喷嘴更换装置包括：轴套组件，轴套组件包括同轴设置的花键外轴套和内嵌轴套，内嵌轴套内部中空，内嵌在花键外轴套中；在周向上内嵌轴套与花键外轴套啮合，在轴向上内嵌轴套能够相对于花键外轴套作伸缩动作；传动底座，传动底座设于轴套组件的下端，与内嵌轴套的下端传动连接，通过带动内嵌轴套转动从而带动花键外轴套转动，并能够推动内嵌轴套在轴向上相对于花键外轴套作伸缩动作。本申请提供了一种阻喷嘴更换装置，可以解决相关技术中需要通过手动更换光阻喷嘴效率低的问题。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种光阻喷嘴更换装置。

背景技术

光阻喷嘴是涂胶显影设备对晶圆表面涂布化学品的重要部件。在晶圆表面涂布化学品后，经过高速旋转，涂布的化学品形成均匀的图层。

涂胶显影设备在实际运行过程中，由于光阻异常、喷嘴异常或安装新规光阻等原因，需要对光阻喷嘴进行更换作业。

目前，对于不同型号的涂胶显影设备，其匹配特定型号的光阻喷嘴，不同型号的光阻喷嘴之间不能进行通用。在对光阻喷嘴进行更换时，由于没有扭力标准，若采用手动方式，有一定作业风险且效率较低。

发明内容

本申请提供了一种阻喷嘴更换装置，可以解决相关技术中需要通过手动更换光阻喷嘴效率低的问题。

一方面，本申请一种光阻喷嘴更换装置，所述光阻喷嘴更换装置包括：

轴套组件，所述轴套组件包括同轴设置的花键外轴套和内嵌轴套，所述内嵌轴套内部中空，内嵌在所述花键外轴套中；在周向上所述内嵌轴套与花键外轴套啮合，在轴向上所述内嵌轴套能够相对于所述花键外轴套作伸缩动作；

传动底座，所述传动底座设于所述轴套组件的下端，与所述内嵌轴套的下端传动连接，通过带动所述内嵌轴套转动从而带动所述花键外轴套转动，并能够推动所述内嵌轴套在轴向上相对于所述花键外轴套作伸缩动作。

可选地，在所述花键外轴套的内壁上设有多个键和多个键槽，所述键和键槽沿所述花键外轴套的周向交替设置。

可选地，所述花键外轴套包括连为一体的连接部和传动部；

所述连接部位于所述花键外轴套的上端部；

所述传动部位于所述连接部下，所述传动部内同轴套设有传动轴套，所述传动轴套内部中空；

所述内嵌轴套内嵌在所述传动轴套中，在周向上所述内嵌轴套与所述传动轴套啮合，在轴向上所述内嵌轴套能够相对于所述传动轴套作伸缩动作。

可选地，所述传动轴套的内表面啮合所述内嵌轴套的外表面，所述传动轴套的外表面啮合所述花键外轴套的内表面。

可选地，所述传动底座包括传动棘轮组件，所述传动棘轮组件包括：正转棘轮、反转棘轮和主动棘爪；

所述正转棘轮和反转棘轮同轴套设在所述内嵌轴套的下端，所述正转棘轮能够带动所述内嵌轴套沿周向正向转动，所述反转棘轮能够带动所述内嵌轴套沿周向反向转动；

所述主动棘爪能够带动所述正转棘轮正向转动，或，所述主动棘爪能够带动所述反转棘轮反向转动。

可选地，所述正转棘轮内表面的截面形状、所述反转棘轮内表面的截面形状，和所述内嵌轴套外表面的截面形状吻合且均为多边形。

可选地，所述传动底座还包括底座壳体，所述底座壳体内部中空形成空腔，所述内嵌轴套的下端、所述正转棘轮和反转棘轮位于所述空腔中；