[发明专利]曝光机

说明书

本申请提供一种曝光机，包括光罩载台和驱动装置，光罩载台包括承载面，承载面上设有固定装置，承载面用于承载光罩，固定装置用于固定光罩载台上承载的光罩；光罩载台内部形成一个露光区域，以使光线透过光罩从露光区域照射到曝光件；驱动装置与光罩载台连接，驱动装置可移动光罩载台、或改变光罩载台的结构，以实现调整露光区域的大小。本申请实施例通过移动光罩载台或者改变光罩载台的结构、以调整露光区域的范围，从而使曝光机可以兼容不同尺寸的光罩，提高了曝光机的适用范围。

技术领域

本申请涉及曝光显影设备技术领域，具体涉及一种曝光机。

背景技术

在薄膜晶体管液晶显示器和有机发光半导体显示器的制备过程中，需要通过曝光显影技术将光罩上的图形转移到玻璃基板的图层上，在制备不同尺寸的显示面板时需要用到不同尺寸的光罩，然而现有的曝光机只能使用对应尺寸的光罩，如果更换不同尺寸的光罩，原有的曝光机将无法使用，曝光机的适用范围受到了限制。

发明内容

本申请提供一种曝光机，可通过移动光罩载台或者改变光罩载台的结构、以调整露光区域的范围，从而使曝光机可以兼容不同尺寸的光罩，提高了曝光机的适用范围。

本申请提供一种曝光机，包括光罩载台和驱动装置；

所述光罩载台包括承载面，所述承载面上设有固定装置，所述承载面用于承载光罩，所述固定装置用于固定所述光罩载台上承载的光罩；

所述光罩载台内部形成一个露光区域，以使光线透过光罩从露光区域照射到曝光件；

所述驱动装置与所述光罩载台连接，所述驱动装置可移动所述光罩载台、或改变所述光罩载台的结构，以实现调整所述露光区域的大小。

在一些实施方案中，所述光罩载台为一个整体结构，所述光罩载台上设有横梁，所述横梁与所述光罩载台滑动连接，所述横梁在所述驱动装置的驱动下移动，所述横梁上可活动地设有承载部，所述驱动装置可调整所述承载部和所述承载面的位置，所述承载部和所述承载面用于承载光罩。

在一些实施方案中，所述横梁位于所述光罩载台的底端，所述承载部可在所述驱动装置的驱动下抬升。

在一些实施方案中，所述光罩载台为一个整体结构，所述光罩载台的正投影为矩形，所述光罩载台的一个侧边铰接地设有卷轴杆，所述卷轴杆位于所述光罩载台顶端，所述卷轴杆上固定地连接有卷轴，所述驱动装置连接所述卷轴杆和卷轴、以驱动所述卷轴折叠或展开，所述卷轴在被展开后形成附加承载面，所述驱动装置可驱动所述承载面升高，所述承载面和所述附加承载面用于承载光罩。

在一些实施方案中，所述光罩载台包括多个互相独立的载台，所述多个独立载台形成所述露光区域，所述多个独立载台可在所述驱动装置的驱动下移动，以调整所述露光区域的范围。

在一些实施方案中，所述光罩载台包括第一载台和第二载台，所述第一载台和所述第二载台的正投影为长条形，所述第一载台和所述第二载台平行设置，所述驱动装置可驱动所述第一平台沿第一方向移动，所述第一方向与所述第一载台的延伸方向呈夹角；和/或，

所述驱动装置可驱动所述第二平台移动沿所述第一方向移动。

在一些实施方案中，所述光罩载台包括第一载台和第二载台，所述第一载台和所述第二载台的正投影为L形，所述第一载台和所述第二载台能构成一个矩形结构，所述驱动装置可驱动所述第一载台移动、以靠近或远离所述第二载台；和/或，

所述驱动装置可驱动所述第二载台移动、以靠近或远离所述第一载台。

在一些实施方案中，所述光罩载台包括：

沿第一方向设置、互相平行的第一行独立载台和第二行独立载台；

沿第二方向设置、互相平行的第一列独立载台和第二列独立载台；