[发明专利]一种电阻模型参数的同步提取方法

说明书

本发明提供一种电阻模型参数的同步提取方法，提供设有窗口互动终端的可视化人机交互系统，将器件信息、测试条件、自动权重因子和提取温度参数所对应的多个温度值设置于窗口互动终端；将GNU文件通过窗口互动终端的文件载入路径载入；人机交互系统依据提取电阻模型参数算法，对电阻电压参数、电阻温度参数及电阻物理参数进行同步提取，生成包含电阻电压参数、电阻温度参数及电阻物理参数的电阻模型文件。本发明的方法避免了传统电阻模型参数提取过程中不能同步生成各参数且效率低的缺陷，可快速生成电阻模型文件，有效提高了电阻参数提取效率和精度，实现标准化流程，在电阻模型建立功能的提升上有巨大的扩展空间。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种电阻模型参数的同步提取方法。

背景技术

在目前超大规模集成电路的研发制造过程中，高效精准的SPICE模型是电路从功能设计到实现的关键，而其中的电阻模型的基本参数准确表征也是其中至关重要的一部分，这些基本参数包括电压系数、温度系数和物理系数。半导体工艺中电阻器件的种类繁多，包括各种有源区电阻、半导体掺杂扩散电阻、半导体硅化物电阻、金属连线电阻等，每种电阻的性能都差异巨大，对这些电阻的提取参数方式各异，需要建立不同的公式模板来应对各种尺寸和种类的电阻，并且需要人工调整，效率和精度受到极大限制，常常会由于人为失误或公式及参数的不合理导致电阻模型的仿真值与实测值产生较大误差。

因此，需要提出一种新的电阻模型参数的同步提取方法来解决上述问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种电阻模型参数的同步提取方法，用于解决现有技术中的电阻提取参数方式中，由于人工调整或公式参数的不合理导致电阻模型的仿真值和实测值存在较大误差以及人工调整效率和精度受到极大限制的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种电阻模型参数的同步提取方法，该方法至少包括以下步骤：

步骤一、提供至少包括多个不同尺寸的测试电阻的电阻尺寸、阻值、阻值与电压关系以及不同温度下的电阻数据的GNU文件、器件信息、测试条件、自动权重因子以及提取温度参数所对应的多个温度值；

步骤二、提供设有窗口互动终端的可视化人机交互系统，将所述器件信息、测试条件、自动权重因子和提取温度参数所对应的多个温度值设置于所述窗口互动终端；

步骤三、所述窗口互动终端设有文件载入路径，将所述GNU文件通过所述文件载入路径进行载入；

步骤四、所述人机交互系统依据用于提取电阻电压参数的标准遗传算法、用于提取电阻温度参数的二次方程算法以及用于提取电阻物理参数标准遗传算法，对所述电阻电压参数、所述电阻温度参数以及所述电阻物理参数进行同步提取，生成至少包含所述电阻电压参数、电阻温度参数以及电阻物理参数的电阻模型文件。

优选地，步骤一中的器件信息包括电阻名称、电阻种类以及等效二极管器件类型。

优选地，步骤一中的所述电阻种类为N型电阻、P型电阻或扩散电阻中的任意一种。

优选地，步骤一中的所述测试条件包括温度、物理尺寸收缩因子、电阻修正宽度限制、电阻修正长度限制。

优选地，步骤一中的所述自动权重因子至少包括整体调制权重因子、第一电压系数调整因子和第二电压系数调整因子。

优选地，步骤一中提取所述温度参数所对应的温度值的个数不大于五个。

优选地，步骤三中将所述GNU文件通过所述文件载入路径进行载入之前，在所述窗口互动终端选择电阻测试格式。

优选地，步骤三中所选择的电阻测试格式包括四端电阻测试格式或两端电阻测试格式中的一种。

优选地，步骤三中通过所述文件载入路径载入的所述GNU文件为与所选择的电阻测试格式对应的数据文件。