[发明专利]一种具有高质量面形偏差的窄带滤波片

说明书

本发明公开了一种具有高质量面形偏差的窄带滤波片，包括基底，所述基底的上端面和下端面分别设有主膜系和背面膜系，所述基底采用在紫外可见光区具有高吸收系数的有色玻璃。本发明为一种具有高质量面形偏差的窄带滤波片，通过调节正反面膜系的相对厚度偏差在100nm以内以达到最优的面形偏差控制，从而提高光学系统的精度。

技术领域

本发明涉及窄带滤波片相关技术领域，具体为一种具有高质量面形偏差的窄带滤波片。

背景技术

窄带滤波片特指半带宽与中心波长之比小于0.05的滤波片，它主要作用是对光具有选择性，收集某个特定波段的光转换成所需要的信息而其余波段截止。窄带滤波片的应用领域日益广泛，可用于酶标仪、生物识别、红外医疗仪器、荧光分析仪、生化仪、光学测量仪器、医疗检测设备、监控摄像机、荧光显微镜、半导体激光器及传感器封装等；窄带滤光片作为基础的光学系统元件，它的性能指标直接影响了整个光学系统的精确度以及成像质量；其中，面形偏差是评估窄带滤光片成像质量的重要指标；光学元件的面形误差对光束线的焦点尺寸有极大影响，因此实现高质量面形偏差的窄带滤波片是亟待解决的问题，所以这里设计了一种具有高质量面形偏差的窄带滤波片，以便于解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有高质量面形偏差的窄带滤波片，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有高质量面形偏差的窄带滤波片，包括基底，所述基底的上端面和下端面分别设有主膜系和背面膜系。

优选的，所述基底采用在紫外可见光区具有高吸收系数的有色玻璃。

优选的，所述有色玻璃可为截止型有色玻璃WB260、WB280、WB300、WB360、WB380、JB400、JB420、JB450、JB470、JB490、JB510、CB535、CB550、CB565、CB580、HB600、HB610、HB630、HB640、HB650、HB670、HB680、HB700、HB715、HB780、HB800、HB830、HB850等中的任一种。

优选的，所述主膜系的初始膜系结构为：

Sub|(LH)^42L(HL)^4H

(LH)^32L(HL)^3H

(LH)^42L(HL)^4H

(LH)^32L(HL)^3|Air。

优选的，所述背面膜系的膜系结构为短波通：

Sub|(0.5LH0.5L)^151.07(HL)^9|Air。

优选的，一种具有高质量面形偏差的窄带滤波片，其具体制备方法为：

A1、为了减少主膜系的膜厚，在本发明中的基底材料选择的是在紫外可见光区具有高吸收系数的有色玻璃，通过调整不同的着色剂以及离子浓度而实现在不同的可见光区波段不同程度的吸收，从而呈现出不同的颜色，并且在本发明中，基底的材料主要起到前截止次峰和减少主膜系厚度的作用；

A2、通过调整两面膜系的参考波长，λ主膜系/λ背面膜系＝0.5-1之间使得两面膜厚尽可能小，在以上膜系中，Sub代表基板，H代表厚度为1/4光学厚度的高折射率材料，可以是HfO2，Ta2O5，Ti3O5或TiO2中的任一种，L代表厚度为1/4光学厚度的低折射率材料MgF2或SiO2中的任一种；Air代表空气，通过调节参考波长，窄带的中心波长在400-2000nm之间可调，窄带膜系的参考波长就是中心波长，将参考波长在400-2000nm之间调整时，就实现了中心波长的调整；