[发明专利]大尺寸石英坩埚熔制设备

权利要求书

1.大尺寸石英坩埚熔制设备,包括电极通电加热部分、隔热冷却系统和坩埚旋转成型部分，其特征在于：坩埚旋转成型部分的真空系统管路采用对接开闭方式，成型模具上的回路接口和移动式真空管路接头相适配，真空管路接头受动力部件驱动前后移动实现真空回路的接通和断开，真空管路接头连通于抽真空设备。

2.如权利要求1所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：真空管路接头安装在真空对接法兰上，真空对接法兰受气缸驱动前后运动，真空对接法兰前后运动受导向机构的导引。

3.如权利要求1所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：还包括水套模具行走机构，水套模具行走机构包括伺服驱动机构、传动机构和行走机构，行走机构包括互相适配的V型导轨和V型行走轮，传动机构驱动两侧的V型行走轮沿V型导轨移动。

4.如权利要求3所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：V型导轨在水套模具行走机构下方两端各设一条，V型导轨安装在导轨预埋件上。

5.如权利要求1所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：电极通电加热部分包括六支石墨电极，每个石墨电极都各自由一个电动升降驱动机构控制上下升降，电极由电极夹持机构夹紧并固定，电极夹持机构在动力装置的驱动下，沿导向机构上下移动。

6.如权利要求5所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：电极和电极夹持机构之间设有绝缘材料。

7.如权利要求1所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：所述隔热冷却系统包括遮热水冷板，遮热水冷板上设有用于电极穿过的长孔，长孔上设有遮挡机构，遮挡机构包括上下堆叠的至少两层滑动隔热块，每层滑动隔热块上均设有通孔用于电极穿过，当电极位于长孔两端的任意一处的状态下，最下层滑动隔热块均将长孔完全覆盖。

8.如权利要求7所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：滑动隔热块的通孔和电极保持间隙，滑动隔热块为陶瓷材料。

9.如权利要求7所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：滑动隔热块的面积由下至上逐渐缩小。

10.如权利要求7所述的大尺寸石英坩埚熔制设备，其特征在于：遮热水冷板上还连接有遮热板升降机构，采用丝杆升降机组驱动遮热水冷板上下升降，丝杠上设有防护套。