[发明专利]用于传送晶圆的机械手臂和传送装置

权利要求书

1.一种用于传送晶圆的机械手臂，其特征在于，所述机械手臂包括：用于放置晶圆的末端，所述末端为圆环状。

2.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述圆环状的末端为一体结构，所述圆环状的末端的外径小于待放置的晶圆的直径。

3.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述圆环状的末端包括至少两段可分离的圆弧部分。

4.如权利要求3所述的机械手臂，其特征在于所述圆环状的末端包括第一圆弧部分和第二圆弧部分，所述第一圆弧部分和第二圆弧部分均包括第一端和与第一端相对的第二端，所述第一圆弧部分的第一端通过一转动装置与第二圆弧部分的第一端固定连接，所述转动装置用于控制所述第一圆弧部分的第二端与所述第二圆弧部分的第二端闭合或者控制所述第一圆弧部分的第二端相对于所述第二圆弧部分的第二端旋开，形成一个缺口。

5.如权利要求4所述的机械手臂，其特征在于，所述机械手臂用于从升降顶针上、吸盘上取下晶圆或者从晶圆盒中取出晶圆，所述机械手臂还用于将手臂上的晶圆传送到顶针上、吸盘上或者晶圆盒中。

6.如权利要求5所述的机械手臂，其特征在于，所述机械手臂在从升降顶针上或吸盘上取下晶圆之前，所述转动装置先控制所述第一圆弧部分的第二端相对于所述第二圆弧部分的第二端旋开；所述第一圆弧部分的第二端相对于所述第二圆弧部分的第二端旋开后，所述机械手臂前移，使得升降顶针上或吸盘穿过所述缺口，所述机械手臂到达取片位置；所述机械手臂到达取片位置上，向上移动，将升降顶针上或吸盘上的晶圆取到手臂上；机械手臂取到晶圆后，所述转动装置控制所述第一圆弧部分的第二端与所述第二圆弧部分的第二端闭合。

7.如权利要求5所述的机械手臂，其特征在于，所述机械手臂向升降顶针上或吸盘上传送晶圆之前，所述转动装置先控制所述第一圆弧部分的第二端相对于所述第二圆弧部分的第二端旋开；所述第一圆弧部分的第二端相对于所述第二圆弧部分的第二端旋开后，所述机械手臂前移，到达升降顶针或吸盘上方的放片位置；所述机械手臂到达放片位置后，所述机械手臂向下移动，将机械手臂上的晶圆放置在升降顶针上或吸盘上；晶圆放置在升降顶针上或吸盘上后，所述机械手臂后移，升降顶针或吸盘从缺口穿过，然后所述转动装置控制所述第一圆弧部分的第二端与所述第二圆弧部分的第二端闭合。

8.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，当所述圆环状的末端的外径小于待放置的晶圆的直径时，所述末端上设置有若干吸附结构，所述吸附结构用于通过真空吸附放置在机械手臂上的晶圆。

9.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，当所述圆环状末端的外径大于待放置的晶圆的直径时，所述末端上设置有卡扣结构，所述卡扣结构用于卡合放置在机械手臂上的晶圆。

10.一种传送装置，其特征在于，包括：

权利要求1-9任一项所述的机械手臂；

与机械手臂连接的驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述机械手臂移动。