[发明专利]一种激光光源频率漂移的测量装置及方法

权利要求书

1.一种激光光源频率漂移的测量方法，其特征在于，包括：

获取待测激光光源(1)输出待测激光；

将待测激光分为两束，对其中一束光(31)进行整形，整形后光束经施加正弦调制的扫描共焦F-P腔干涉仪(34)进行相位调制，由第一光电探测器(37)实时探测扫描共焦腔F-P干涉仪(34)的透射光信号；

由第二光电探测器(42)对另一束光(41)进行探测，获得该光束的光强信号，用于后续的光功率补偿；

接收透射光信号和光强信号，并将其转化为数字信号，将光强信号除以透射信号，并结合施加在扫描共焦F-P腔干涉仪(34)上的正弦调制信号进行数字锁相放大解调，获得解调结果V_out；

根据解调结果V_out与光源频率漂移Δf的线性关系，最终通过获得的解调结果推算出光源频率漂移；

所述的解调结果V_out与光源频率漂移Δf的线性关系的数学模型如下：

其中：

其中V_out表示锁相输出信号，G代表谐振透射率，F代表清晰度，U代表正弦调制信号幅度，N_AD表示数模转换系数，D₁、D₂分别表示第一、第二光电探测器(37、42)的输入光强与输出电压之间的转换系数，f₀表示激光器中心频率，c代表真空中的光速，f代表出射激光频率，n代表共焦腔中介质的折射率，L为施加正弦调制后干涉仪的固定腔长，ΔL为腔长的最大变化量；J₁(2πf₀·4nΔL/c)表示一阶贝塞尔函数在2πf₀·4nΔL/c处取值，g⁽¹⁾(f₀)表示g(f)函数在f₀处的一阶导数，g(f₀)表示函数在f₀处的值。