[发明专利]一种磷酸废酸的回收处理方法

说明书

本发明提供了一种磷酸废酸的回收处理方法，所述方法包括以下步骤：将磷酸废酸预处理后进行纳滤处理，得到纳滤透过液和纳滤截留液；将纳滤截留液加入碱性物质进行除杂，固液分离得到磷酸盐溶液；将磷酸盐溶液进行电解，得到磷酸和碱，所述碱返回循环使用。本发明所述方法通过对磷酸废酸依次进行纳滤、中和沉淀以及电解操作，将磷酸废酸中的杂质分离，实现磷酸的富集回收，磷酸的回收率高；磷酸回收后的纯度高，性能优异，可满足半导体等行业的要求；所述方法操作简单，成本较低，实现了废酸液的资源化利用。

技术领域

本发明属于废液处理技术领域，涉及一种磷酸废酸的回收处理方法。

背景技术

随着经济社会的快速发展，废液的排放量日益增多，其中废酸作为一种强腐蚀性废液，若未得到有效处理就进行排放，必然会对环境造成极大损害；而目前规模迅速扩大的电子行业、半导体行业等生产过程均会产生大量废酸液，磷酸作为一种中强酸，在芯片制造等生产过程中应用较多，因此磷酸废酸是一种重要的废酸液，其回收处理工艺的研究必不可少。

CN 101602560A公开了一种低浓度工业废酸水的浓缩回收方法，包括：(1)废酸水的预处理，先用曝气方法将废水中溶解的难脱除物质析出，然后用高效纤维过滤器滤除水中大分子物质；(2)渗透蒸馏，经预处理的废酸水进入渗透蒸馏膜组件进行渗透蒸馏脱水，膜组件另一侧是含有脱除剂的水溶液，脱除剂选择渗透活度比较低的盐水溶液；(3)脱除剂蒸发浓缩，将步骤(2)中被稀释的脱除剂进行蒸发浓缩，饱和或过饱和后会用到渗透蒸馏；(4)浓缩酸水的净化处理，将浓缩后的酸水用纳滤膜组件过滤，去除铁离子等杂质；该方法的应用对于废酸水中酸的种类和浓度都有限制，主要适用于盐酸或硫酸，对于磷酸的适用性较差。

CN 205699506U公开了一种电子废酸液电子级磷酸回收处理装置，包括蒸发浓缩单元、稀酸回收单元、负压真空单元和冷却水循环单元，所述蒸发浓缩单元包括预热器、蒸发器和分离器，稀酸回收单元包括冷凝器、不凝气体冷凝器和稀酸罐，负压真空单元包括气液分离罐和真空机组，冷却水循环单元包括冷却塔和冷却水泵，该装置利用高真空低温蒸发浓缩的方法实现电子级磷酸的浓缩处理，处理过程在负压状态下完成，但该装置主要是用于磷酸中硝酸和醋酸等易挥发性酸的分离，对于其他种类杂质的分离并未涉及，所得磷酸仍无法直接利用。

综上所述，对于磷酸废酸的回收处理，还需要根据废酸的组成及组分特性，选择合适的分离操作与顺序，以实现磷酸组分的高效回收。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种磷酸废酸的回收处理方法，所述方法根据废酸组成采用纳滤工艺将磷酸与金属离子充分分离，再经中和沉淀及电解反应，将高杂质含量的纳滤截留液中的磷酸回收，所述方法磷酸回收率高，实现了磷酸废液的回收利用，操作简便，成本较低。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供了一种磷酸废酸的回收处理方法，所述方法包括以下步骤：

(1)将磷酸废酸预处理后进行纳滤处理，得到纳滤透过液和纳滤截留液；

(2)将步骤(1)得到的纳滤截留液加入碱性物质进行除杂，固液分离得到磷酸盐溶液；

(3)将步骤(2)得到的磷酸盐溶液进行电解，得到磷酸和碱，所述碱返回步骤(2)循环使用。

本发明中，对于废酸液的回收利用，主要是根据废液中酸及杂质的种类，选择合适的分离操作，本发明中磷酸主要为分子型，部分电解产物也是一价离子，可选择纳滤操作将其与二价及三价的金属离子充分分离，而杂质含量较高的纳滤截留液则进一步除杂去除金属离子，再经电解重新得到磷酸；经过上述处理，废酸中磷酸的回收率高，既避免了废酸液造成的污染，又可实现废酸液的资源化利用。

以下作为本发明优选的技术方案，但不作为本发明提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本发明的技术目的和有益效果。