[发明专利]一种组装辅助装置在审
申请号: | 202010478962.3 | 申请日: | 2020-05-29 |
公开(公告)号: | CN111546384A | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 许志雄 | 申请(专利权)人: | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 |
主分类号: | B25J19/00 | 分类号: | B25J19/00;B25B27/00;B25B11/02;B25H1/08;B25H1/10 |
代理公司: | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人: | 吴圳添 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 组装 辅助 装置 | ||
本发明公开了一种组装辅助装置,该组装辅助装置包括底座和装夹辅助机构,装夹辅助机构设置有两组,两组装夹辅助机构分别设置在底座上,每组装夹辅助机构包括:旋转盘,旋转盘转动装接于底座上;支撑轴,支撑轴安装于旋转盘上;夹批组件,夹批组件转动装接于支撑轴上。本发明还公开了另一种组装辅助装置。本发明用于机械手臂的安装支架的组装,方便单人操作,避免组装过程中造成安装支架的部件发生损伤。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种组装辅助装置。
背景技术
随着生产的自动化和机械化,机械手臂广泛应用于冶金、机械制造、电子等技术领域,特别是,半导体制造过程涉及的工序繁多,其中,如光刻胶洗边、涂覆、显影等操作步骤需要借助机械手臂完成。机械手臂安装支架作为连接生产设备和机械手臂的中介,在机械手臂的使用过程中起到保证机械手臂的稳定运行的作用。
机械手臂安装支架在使用前需要进行组装,往往需要两个人配合才能顺利完成,但可能因为协同性不足,导致组装过程中安装支架的部件发生损伤,影响其精准性和使用周期,进一步影响机械手臂的使用。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术中存在的不足,提出一种组装辅助装置,用于机械手臂安装支架的组装,方便单人操作,避免组装过程中造成安装支架的部件发生损伤。
为此,本发明采用以下技术方案:
一种组装辅助装置,包括底座和装夹辅助机构,所述装夹辅助机构设置有两组,两组所述装夹辅助机构分别设置在所述底座上,每组所述装夹辅助机构包括:
旋转盘,所述旋转盘转动装接于所述底座上;
支撑轴,所述支撑轴安装于所述旋转盘上;
夹批组件,所述夹批组件安装于所述支撑轴上。
优选的,所述支撑轴偏心安装于所述旋转盘上。
优选的,所述夹批组件转动装接于所述支撑轴上。
优选的,所述夹批组件与所述支撑轴为过盈配合。
优选的,所述夹批组件包括紧固件,所述紧固件用于将所述夹批组件固定于所述支撑轴上。
优选的,所述夹批组件包括夹批头和气泵。
本发明还提供另一种组装辅助装置,包括底座、第一装夹辅助机构和第二装夹辅助机构,所述第一装夹辅助机构和所述第二装夹辅助机构分别设置在所述底座上,所述第一装夹辅助机构包括:
第一支撑轴,所述第一支撑轴安装于所述底座上;
第一夹批组件,所述第一夹批组件转动装接于第一所述支撑轴上;
所述第二装夹辅助机构包括:
旋转盘,所述旋转盘转动装接于所述底座上;
第二支撑轴,所述第二支撑轴偏心安装于所述旋转盘上;
第二夹批组件,所述第二夹批组件转动装接于第二所述支撑轴上。
优选的,所述夹批组件与所述支撑轴为过盈配合。
优选的,所述夹批组件包括紧固件,所述紧固件用于将所述夹批组件固定于所述支撑轴上。
优选的,所述第一夹批组件包括第一夹批头和第一气泵,所述第二夹批组件包括第二夹批头和第二气泵。
本技术方案的有益之处在于:
1、辅助机械手臂的安装支架的组装,方便单人操作,避免组装过程中安装支架的部件发生损伤;
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