[发明专利]基板传输方法及装置

权利要求书

1.一种基板传输方法，其特征在于，包括：

控制器确定基板传送台的基准和工件台的基准无偏差；

所述基板传送台运动至传输承载台上的第一工位，且所述工件台运动至工件台吊框上的第二工位；

所述控制器确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差；

基板传送组件吸附基板，且带动所述基板从所述基板传送台运动至所述工件台上的预设位置；

所述控制器确定基板传送台的基准和工件台的基准无偏差包括：

第一位移检测组件检测工件台吊框相对所述传输承载台上的第一参考点在第一方向上的第一位移；

第二位移检测组件检测工件台吊框上相对所述传输承载台上的第二参考点在所述第一方向上的第二位移；

第三位移检测组件检测所述工件台吊框相对所述传输承载台在第二方向上的第一位移；

第四位移检测组件检测工件台吊框相对所述传输承载台在所述第二方向上的第二位移；

所述第一方向上的第一位移小于或等于第一预设值，所述第一方向上的第二位移小于或等于所述第一预设值，所述第一方向上的第一位移与所述第一方向上的第二位移的差值小于或等于第二预设值，所述第二方向上的第一位移小于或等于所述第一预设值，且所述第二方向上的第二位移小于或等于所述第一预设值，所述控制器确定所述工件台的基准和所述基板传送台的基准无偏差；

所述控制器确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差包括：

第一到位检测组件检测所述基板传送台上的第三参考点到所述第一交接工位处的第四参考点之间的第一距离；

第二到位检测组件检测所述工件台上的第五参考点到所述第二交接工位处的六参考点之间的第二距离；

第三到位检测组件检测固定在所述基板传送台上的板叉的前端到所述工件台上的第七参考点之间的第三距离；

所述第一距离小于或等于第三预设值，所述第二距离小于或等于第四预设值，且所述第三距离小于或等于第五预设值，所述控制器确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

控制器确定基板传送台的基准和工件台的基准无偏差包括：

所述第一方向平行于第一表面，所述第一表面为所述传输承载台邻近所述工件台吊框一侧的表面；

所述第一参考点和所述第二参考点位于所述第一表面；

所述第二方向平行于第二平面，且垂直于所述第一方向，所述第二平面为所述传输承载台与所述第一表面相邻的表面，所述第二方向垂直于所述第一交接工位指向所述第二交接工位的方向。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述控制器确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差包括：

所述控制器的第五信号输入端与所述第一到位检测组件的信号输出端电连接，所述控制器的第六信号输入端与所述第二到位检测组件的信号输出端电连接，所述控制器的第七信号输入端与所述第三到位检测组件的信号输出端电连接。

4.根据权利要求1所述的基板传输方法，其特征在于，

基板传送组件吸附基板，带动所述基板从所述基板传送台运动至所述工件台上的预设位置之前还包括：

锁紧组件将所述基板传送台固定在所述传输承载台上，且将所述工件台固定在所述工件台吊框上。

5.根据权利要求4所述的基板传输方法，其特征在于，

锁紧组件将所述基板传送台固定在所述传输承载台上，且将所述工件台固定在所述工件台吊框上包括：

第一锁紧部将所述基板传送台锁紧在传输承载台上的第一交接工位处；

第二锁紧部的第一锁紧单元和第二锁紧单元将所述工件台锁紧在工件台吊框上的第二交接工位处。