[发明专利]一种探测器像素单元在审
| 申请号： | 202010484208.0 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN111599829A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 雷述宇 | 申请（专利权）人： | 宁波飞芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146;H01L27/144 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315500 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 探测器 像素 单元 | ||
1.一种探测器像素单元，其特征在于包含，感光区域，可吸收光并实现将所述光转化为电信号；
所述感光区域的一侧与至少一个微透镜直接或者间接连接，所述感光区域与所述微透镜之间包含具有光反射功能的第一介质层；
与所述微透镜连接一侧的相对侧还包含具有光反射功能的第二介质层，所述感光区域可接受未被所述感光区域吸收而经过所述第二介质层再次反射的返回光；
所述像素单元还包含具有光电隔离功能的深沟槽隔离部。
2.如权利要求1所述的探测器像素单元，其特征在于，所述深沟槽隔离部包含电隔离层和光隔离层两层结构。
3.如权利要求2所述的探测器像素单元，其特征在于，所述电隔离层位于所述光隔离层的外部，所述光隔离层包含金属隔离层。
4.如权利要求3所述的探测器像素单元，其特征在于，所述金属隔离层为钨金属层。
5.如权利要求3所述的探测器像素单元，其特征在于，所述电隔离层在所述像素单元延伸深度大于所述光隔离层的延伸深度。
6.如权利要求1所述的探测器像素单元，其特征在于，所述第一介质层能够反射至少部分经所述第二介质层反射的光至所述感光区域。
7.如权利要求1所述的探测器像素单元，其特征在于，所述深沟槽隔离区能够反射至少部分经所述第二介质层反射的光至所述感光区域。
8.如权利要求1所述的探测器像素单元，其特征在于，还包含金属布线层，所述第二介质层独立于所述金属布线层。
9.如权利要求8所述的探测器像素单元，其特征在于，所述第二介质层设置于所述金属布线层沿入射光传播方向的上游。
10.如权利要求1所述的探测器像素单元，其特征在于，还包含金属布线层，所述第二介质层为所述金属布线层的组成部分，所述金属布线层包含只用于反射光而不用于电信号传递的虚设部。
11.一种由权利要求1-10任一所述探测器像素单元组成的阵列型探测接收器，其特征在于包含，感光区域，可吸收光并实现将所述光转化为电信号；
所述感光区域的一侧与至少一个微透镜直接或者间接连接，所述感光区域与所述微透镜之间包含具有光反射功能的第一介质层；
与所述微透镜连接一侧的相对侧还包含具有光反射功能的第二介质层，所述感光区域可接受未被所述感光区域吸收而经过所述第二介质层再次反射的返回光；
所述像素阵列的像素单元还包含具有光电隔离功能的深沟槽隔离部。
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