[发明专利]封装结构的制作方法及封装结构在审
申请号: | 202010485905.8 | 申请日: | 2020-06-01 |
公开(公告)号: | CN112864022A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 张强波;张伟杰;宋关强;余晋磊 | 申请(专利权)人: | 天芯互联科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/56;H01L21/768;H01L23/31;H01L23/48;H01L23/528;H01L23/367 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎坚怡 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 制作方法 | ||
1.一种封装结构的制作方法,其特征在于,包括:
提供载板,所述载板的至少一表面上贴装有电子元器件和通流柱;
对所述电子元器件和所述通流柱进行封装,以形成封装体;
在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成若干外接引脚;
其中,至少部分所述外接引脚的位置与所述通流柱的位置对应,所述通流柱通过所述外接引脚与外界设备连通,且所述外接引脚的横向面积大于所述通流柱的横向面积。
2.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述对所述电子元器件和所述通流柱进行封装,以形成封装体,具体包括:
对所述载板的第一表面上的所述电子元器件进行封装,以形成封装组件;
对所述载板的第二表面上的所述电子元器件和所述通流柱进行封装,以形成封装体,其中,所述第一表面和所述第二表面背离设置。
3.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述对所述电子元器件和所述通流柱进行封装,以形成封装体的步骤之后,还包括:
对所述封装体的至少一表面进行研磨,以露出所述通流柱。
4.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成若干外接引脚,具体包括:
在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成焊垫层;
对所述焊垫层进行图形化处理,以形成若干外接引脚。
5.根据权利要求4所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成焊垫层,具体包括:
在所述封装体的一侧表面溅镀铜钛合金,以形成铜钛合金层;
在所述铜钛合金层远离所述载板的一侧表面电镀铜层;
在所述铜层远离所述铜钛合金层的一侧表面电镀锡层,以形成焊垫层。
6.根据权利要求5所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述对所述焊垫层进行图形化处理,以形成若干外接引脚,具体包括:
去除所述焊垫层表面第一预设位置处的所述锡层;
对所述焊垫层表面的第一预设位置进行处理,以去除所述第一预设位置处的所述铜层;
去除所述焊垫层表面第一预设位置处的所述铜钛合金层,以形成若干外接引脚。
7.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成若干外接引脚,具体包括:
在所述封装体的若干第二预设位置分别溅镀铜钛合金,以形成铜钛合金层;
在所述铜钛合金层远离所述载板的一侧表面依次电镀铜层及锡层,以形成若干外接引脚。
8.根据权利要求6或7所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成若干外接引脚的步骤之后,还包括:
去除所述外接引脚表面的锡层;
对所述外接引脚的表面进行涂覆,以形成保护层对所述外接引脚进行保护。
9.根据权利要求1-7任一项所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述通流柱包括第一通流柱和第二通流柱,所述第一通流柱和所述第二通流柱设置在所述载板的同侧;且所述第一通流柱贴装在所述载板的一侧表面,所述第二通流柱贴装在所述电子元器件远离所述载板的一侧表面。
10.根据权利要求5或7所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述铜钛合金层为0.3-3微米,所述铜层为20微米,所述锡层为3微米。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天芯互联科技有限公司,未经天芯互联科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010485905.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:电子设备及其控制方法
- 下一篇:电子设备及其充电方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造