[发明专利]封装结构的制作方法及封装结构在审

专利信息
申请号: 202010485905.8 申请日: 2020-06-01
公开(公告)号: CN112864022A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 张强波;张伟杰;宋关强;余晋磊 申请(专利权)人: 天芯互联科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L21/56;H01L21/768;H01L23/31;H01L23/48;H01L23/528;H01L23/367
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 黎坚怡
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 封装 结构 制作方法
【权利要求书】:

1.一种封装结构的制作方法,其特征在于,包括:

提供载板,所述载板的至少一表面上贴装有电子元器件和通流柱;

对所述电子元器件和所述通流柱进行封装,以形成封装体;

在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成若干外接引脚;

其中,至少部分所述外接引脚的位置与所述通流柱的位置对应,所述通流柱通过所述外接引脚与外界设备连通,且所述外接引脚的横向面积大于所述通流柱的横向面积。

2.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述对所述电子元器件和所述通流柱进行封装,以形成封装体,具体包括:

对所述载板的第一表面上的所述电子元器件进行封装,以形成封装组件;

对所述载板的第二表面上的所述电子元器件和所述通流柱进行封装,以形成封装体,其中,所述第一表面和所述第二表面背离设置。

3.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述对所述电子元器件和所述通流柱进行封装,以形成封装体的步骤之后,还包括:

对所述封装体的至少一表面进行研磨,以露出所述通流柱。

4.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成若干外接引脚,具体包括:

在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成焊垫层;

对所述焊垫层进行图形化处理,以形成若干外接引脚。

5.根据权利要求4所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成焊垫层,具体包括:

在所述封装体的一侧表面溅镀铜钛合金,以形成铜钛合金层;

在所述铜钛合金层远离所述载板的一侧表面电镀铜层;

在所述铜层远离所述铜钛合金层的一侧表面电镀锡层,以形成焊垫层。

6.根据权利要求5所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述对所述焊垫层进行图形化处理,以形成若干外接引脚,具体包括:

去除所述焊垫层表面第一预设位置处的所述锡层;

对所述焊垫层表面的第一预设位置进行处理,以去除所述第一预设位置处的所述铜层;

去除所述焊垫层表面第一预设位置处的所述铜钛合金层,以形成若干外接引脚。

7.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成若干外接引脚,具体包括:

在所述封装体的若干第二预设位置分别溅镀铜钛合金,以形成铜钛合金层;

在所述铜钛合金层远离所述载板的一侧表面依次电镀铜层及锡层,以形成若干外接引脚。

8.根据权利要求6或7所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述封装体的一侧表面电镀金属层,以形成若干外接引脚的步骤之后,还包括:

去除所述外接引脚表面的锡层;

对所述外接引脚的表面进行涂覆,以形成保护层对所述外接引脚进行保护。

9.根据权利要求1-7任一项所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述通流柱包括第一通流柱和第二通流柱,所述第一通流柱和所述第二通流柱设置在所述载板的同侧;且所述第一通流柱贴装在所述载板的一侧表面,所述第二通流柱贴装在所述电子元器件远离所述载板的一侧表面。

10.根据权利要求5或7所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述铜钛合金层为0.3-3微米,所述铜层为20微米,所述锡层为3微米。

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