[发明专利]一种用于火星车电池板表面的防尘薄膜及其制备方法在审
申请号: | 202010486140.X | 申请日: | 2020-06-01 |
公开(公告)号: | CN111668319A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 何光宇;冯锋;杨竹芳;康进兴 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军空军工程大学 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/50;C23C14/58 |
代理公司: | 西安研创天下知识产权代理事务所(普通合伙) 61239 | 代理人: | 杨凤娟 |
地址: | 710051 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 火星 电池板 表面 防尘 薄膜 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种用于火星车电池板表面的防尘薄膜及其制备方法,所述防尘薄膜包括打底层、过渡层、工作层和低粘附层;打底层位于电池板表面,过渡层、工作层和低粘附层依次往上设置;打底层为Si层;过渡层为Si和C,且过渡层从下往上Si的含量梯度变化,C的含量逐渐增大;工作层为及Si‑DLC;低粘附层为氟碳或氢氟碳化合物;所述制备方法为,首先对电池板表面进行清洗及处理;然后采用真空镀膜工艺在基体表面制备Si打底层;再通过工艺控制制备致密、光滑的过渡层及Si‑DLC工作层;最后对表面进行氟有机物修饰,降低表面能。采用本发明中的方法制备的防尘薄膜,不但光学性能优良,而且提高了电池板表面除尘性能,节省能量、成本低、操作简单。
技术领域
本发明涉及表面防尘薄膜技术领域,尤其涉及一种用于火星车电池板表面的防尘薄膜及其制备方法。
背景技术
火星是太阳系由内往外数的第四颗行星,属于类地行星,表面基本上是沙漠行星,没有稳定的液态水体,以二氧化碳为主的大气既稀薄又寒冷,沙尘悬浮其中,每年常有尘暴发生。与地球相比,地质活动不活跃,地表地貌大部分有密布的陨石坑、火山与峡谷。地形特征是南北半球的明显差别:南方是古老充满陨石坑的高地,北方则是较年轻的平原,火星两极皆有主要以干冰组成的极冠,而且上面覆盖的干冰会随季节消长。
火星探测装备要在极其恶略的火星表面登陆及长时间作业,除了自带能量,太阳能量吸收和转化效率十分关键。然而火星近地表面覆盖有一层粒径90%以上都小于50μm的尘埃,在高速气流及风暴作用下,火星尘会弥漫在空气中,风速下降时会沉降并粘附在电池板及机构表面,不但降低电池板输出功率,同时影响电池的散热性能,导致其性能降低。动力不足影响“登火”装备完成既定任务,亟待解决。
太阳能电池板表面的污染物主要通过自然除尘、机械除尘、电帘除尘、纳米自清洁薄膜除尘。由于火星地表风速(大于30m/s时除尘效果较好)长时间无法达到除尘效果,导致自然除尘效果不理想;机械除尘因效率低、难维护,对电池板有损伤等难以推广;电帘除尘因额外耗电、成本高、技术成熟度低等未大面积推广;不论是机械除尘还是电帘除尘,都需要耗能。如果在太阳能电池板上覆盖一层纳米自清洁薄膜,则可以降低能耗,通过控制成膜粒径的大小,可以增加太阳光的透过率。纳米自清洁薄膜具有能耗少,甚至增透的优点,是未来解决“登火”装备表面除尘的有效途径之一。
发明内容
针对上述存在的问题,本发明旨在提供一种非金属Si、F掺杂的透明、自清洁的纳米类金刚石涂层,主要采用真空镀膜工艺,通过控制工艺参数,在电池板表面制备多层梯度薄膜,该薄膜不但不影响电池板光学性能,还可以有效地降低颗粒物的粘附,提高了光电转换效率,节约本体能源消耗,降低生产成本。
为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案如下:
一种用于火星车电池板表面的防尘薄膜,其特征在于:包括打底层、过渡层、工作层和低粘附层;所述打底层位于电池板组件表面,所述过渡层、工作层和低粘附层依次往上设置;
所述打底层为Si层;所述过渡层为Si和C,且所述过渡层从下往上Si的含量梯度变化,C的含量逐渐增大;所述工作层为Si-DLC;所述低粘附层为氟碳或氢氟碳化合物。
进一步的,所述打底层的厚度为10-50nm,所述过渡层的厚度为10-50nm,所述工作层的厚度为10-100nm,所述低粘附层的厚度为10~100nm。
优选的,所述打底层的厚度为20nm,所述过渡层的厚度为15nm,所述工作层的厚度为80nm,所述低粘附层的厚度为50nm。
进一步的,一种用于火星车电池板表面的防尘薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤,
S1:电池板表面清洁处理;
S2:在清洁后的电池板组件表面制备Si打底层;
S3:在打底层表面制备Si和C的过渡层;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的