[发明专利]一种声表面波磁场探测器在审
申请号: | 202010487668.9 | 申请日: | 2020-06-02 |
公开(公告)号: | CN111474505A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面波 磁场 探测器 | ||
本发明提供了一种声表面波磁场探测器,在第一叉指换能器和第二叉指换能器间设置磁致伸缩材料部。在待测磁场作用下,磁致伸缩材料部伸长,改变压电基底的应力,从而改变压电基底中声表面波的共振频率,通过探测该共振频率实现磁场探测。因为声表面波的共振频率与压电基底的形貌、应力、周围环境密切相关,所以本发明具有磁场探测灵敏度高的优点,在磁场探测领域具有良好的应用前景。
技术领域
本发明涉及磁场探测领域,具体涉及一种声表面波磁场探测器。
背景技术
磁场探测涉及生命科学、自动控制等多个领域,具有重要的应用价值。传统的磁场探测器主要有基于霍尔效应的磁场探测器、基于磁通门效应的磁场探测器、基于磁阻效应的磁场探测器。这些传统磁场探测器的探测灵敏度低,不能满足高灵敏度探测需要。
发明内容
为解决以上问题,本发明提供了一种声表面波磁场探测器,该磁场探测器包括压电基底、第一反射栅、第二反射栅、第一叉指换能器、第二叉指换能器、磁致伸缩材料部,第一反射栅、第二反射栅、第一叉指换能器、第二叉指换能器置于压电基底上,第一叉指换能器和第二叉指换能器置于第一反射栅和第二反射栅之间,磁致伸缩材料部设置在第一叉指换能器和第二叉指换能器之间;使用时,在待测磁场作用下,磁致伸缩材料部改变压电基底中的声表面波的共振频率,通过探测该共振频率实现磁场探测。
更进一步地,磁致伸缩材料部设置在压电基底上。
更进一步地,在第一叉指换能器和第二叉指换能器间、压电基底上设有凹槽,磁致伸缩材料部设置在凹槽内。
更进一步地,凹槽的宽度小于声表面波的共振波长。
更进一步地,磁致伸缩材料部设置在压电基底的内部。
更进一步地,磁致伸缩材料部与压电基底表面之间的距离小于声表面波的共振波长的十分之一。
更进一步地,磁致伸缩材料部在垂直于压电基底方向的尺寸为0.5-1个声表面波共振波长。
更进一步地,压电基底的材料为钽酸锂、铌酸锂或石英。
本发明的有益效果:本发明提供了一种声表面波磁场探测器,在第一叉指换能器和第二叉指换能器间设置磁致伸缩材料部。在待测磁场作用下,磁致伸缩材料部伸长,改变压电基底的应力,从而改变压电基底中声表面波的共振频率,通过探测该共振频率实现磁场探测。因为声表面波的共振频率与压电基底的形貌、应力、周围环境密切相关,所以本发明具有磁场探测灵敏度高的优点,在磁场探测领域具有良好的应用前景。
以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。
附图说明
图1是声表面波磁场探测器的示意图。
图2是又一种声表面波磁场探测器的示意图。
图3是再一种声表面波磁场探测器的示意图。
图中:1、压电基底;2、第一反射栅;3、第二反射栅;4、第一叉指换能器;5、第二叉指换能器;6、磁致伸缩材料部。
具体实施方式
为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效,详细说明如下。
实施例1
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