[发明专利]一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法

权利要求书

1.一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，其特征在于：步骤如下：

步骤一：依据待测键合板条的尺寸、类型以及吸收光谱，调试白光干涉测量系统；

步骤二：白光干涉测量系统对已知反射率的标准反射面进行测试，获取干涉信号值，评测出探头距离变化造成的测量信号波动，得到回损的校对参考值；

步骤三：白光干涉测量系统中的延迟线结构对待测键合板条进行扫描测试，得到各反射面的分布式干涉强度信号；

步骤四：用白光干涉测量系统的探头中已知反射率薄膜为标准，将分布式干涉强度信号的相对强度值转化为反射率的分布式结果，并结合回损的校对参考值对测量结果校准；

步骤五：利用菲涅尔公式将分布式结果中表面反射率测量结果转化为晶体的折射率，计算出键合面处理想的菲涅尔反射率理论值；

利用菲涅尔反射公式，在板条的两个外表面，取空气折射率为1，根据分布式结果中两个外表面反射率测量结果，得到出板条两部分YAG晶体的折射率，再按照这两个折射率，计算键合面处理想的菲涅尔反射率，作为键合面反射率理论值；

步骤六：通过分布式结果中的键合面的反射率测量值与菲涅尔反射率理论值对比，得到键合面相对损耗值。

2.根据权利要求1所述的一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，其特征在于：步骤一中的白光干涉系统采用光纤迈克尔逊干涉仪结构，并配合光纤探头，光源是宽谱白光光源，光纤探头端面配有自聚焦透镜，且有一层已知反射率和透射率的薄膜，用于标定出待测反射面的反射率；延迟线的高精度扫描可以准确定位待测反射面的光程。

3.根据权利要求1或2所述的一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，其特征在于：步骤三中的扫描测试是沿垂直于待测键合板条的键合面的方向进行扫描测试。

4.根据权利要求3所述的一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，其特征在于：步骤六中的键合面相对损耗值R_实测值为分布式结果中的键合面的反射率测量值，R_理论值为菲涅尔反射率理论值。