[发明专利]包括气体检测器的气相反应器系统

权利要求书

1.一种气相反应器系统，包括：

反应器，所述反应器包括反应腔室；

气体供应单元，所述气体供应单元经由气体供应管线联接到所述反应腔室；

第一排气系统，所述第一排气系统经由第一排气管线联接到所述反应腔室；

旁路管线，所述旁路管线联接到所述气体供应单元和所述第一排气系统；

气体检测器，所述气体检测器经由连接管线联接到所述旁路管线；

连接管线阀，所述连接管线阀联接到所述连接管线；以及

第二排气系统，所述第二排气系统联接到所述连接管线。

2.根据权利要求1所述的气相反应器系统，其中所述旁路管线联接到所述气体供应管线。

3.根据权利要求1所述的气相反应器系统，其中所述旁路管线联接到所述第一排气管线。

4.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括第二排气管线，所述第二排气管线联接到所述连接管线。

5.根据权利要求4所述的气相反应器系统，进一步包括第二排气管线阀，所述第二排气管线阀在所述连接管线和所述第二排气系统之间。

6.根据权利要求1所述的气相反应器系统，其中所述第二排气系统联接到腔室。

7.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括在所述气体供应单元与所述第一排气系统之间的第一旁路管线阀。

8.根据权利要求7所述的气相反应器系统，进一步包括在所述气体供应单元与所述第一排气系统之间的第二旁路管线阀。

9.根据权利要求1所述的气相反应器系统，其中所述气体检测器能够检测气体的流速。

10.根据权利要求1所述的气相反应器系统，其中所述气体检测器能够检测气体的成分。

11.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括控制器，所述控制器配置成：在衬底装载入所述反应腔室之后并在所述衬底从所述反应腔室移除之前引起所述气相反应器系统执行泄漏测试。

12.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括控制器，所述控制器配置成：在将衬底加热至期望的工艺温度的同时引起所述气相反应器系统执行泄漏测试。

13.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括控制器，所述控制器配置成：在过程循环期间执行泄漏测试。

14.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括控制器，所述控制器配置成：在所述气体检测器检测到高于预定值的气体流速时停止气体流至所述反应腔室。

15.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括控制器，所述控制器配置成：在所述气体检测器检测到高于预定值的气体流速时停止所述气相反应器系统的操作。

16.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括控制器，所述控制器配置成：在所述反应腔室内处理衬底期间使所述连接管线排气。

17.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括控制器，所述控制器配置成：通过关闭所述连接管线阀并打开第二排气管线阀来使所述连接管线排气。

18.根据权利要求1所述的气相反应器系统，进一步包括控制器，所述控制器配置成：在所述气体供应单元的泄漏检查期间将气体排出到所述第一排气系统和所述第二排气系统。