[发明专利]管型臭氧产生装置

说明书

一种具备臭氧产生单元(30)的管型臭氧产生装置(1)。臭氧产生单元(30)具有隔着放电间隙(36)布置在外侧电极管(31)的内侧的放电管(32)。放电管(32)具有：具有开口(33a)的介电质管(33)；以端部(34a)从开口(33a)露出来的状态下设置在介电质管(33)的内周面上的电极膜(34)；以及供电部件(40)。供电部件(40)具有内侧扣夹(41)和外侧扣夹(42)，内侧扣夹(41)和外侧扣夹(42)夹住电极膜(34)的露出端部(34a)。

本申请是申请日为2015年01月28日、申请号为201580003306.5(国际申请号为PCT/JP2015/000373)、发明名称为“管型臭氧产生装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明与管型臭氧产生装置相关，其中特别与供电部件的构造相关。

背景技术

臭氧具有强力的氧化作用，在作用后会分解为无害的氧等。因此，在半导体制造、食品制造、水处理等领域中，经常使用臭氧来进行清洗、杀菌、除臭等处理。

像这样的产生臭氧的臭氧产生装置多采用无声放电方式。

在无声放电方式的臭氧产生装置中，在隔着介电质对置的一对电极之间设有空隙(放电间隙(discharge gap))。在一对电极之间施加高电压，就会在放电间隙产生无声放电。使含氧原料气体流过放电间隙，从而原料气体臭氧化，产生臭氧。

在采用这样的无声放电方式的臭氧产生装置中，存在管型的臭氧产生装置。在管型臭氧产生装置中，使用呈管状的放电管作为介电质，该介电质构成产生臭氧的单元。就管型臭氧产生装置来说，由于能够将多根放电管密集地平行布置，因此具有容易大型化的优点。

管型臭氧产生装置中的供电部件的构造已公开在例如专利文献1、专利文献2中。

在专利文献1中，与高压电源电连接的棒状供电部件布置在介电质管的内部，该供电部件经由不锈钢丝(stainless steel wool)部件与金属蒸镀在介电质管的内表面上的电极电连接在一起。

在专利文献2中，使用了在外周面上形成有多个狭缝的呈灯笼形的供电部件，通过该供电部件与金属蒸镀在介电质管的内表面上的电极弹性接触，从而电源与电极电连接。

专利文献1：日本公开专利公报特开2012-144425号公报

专利文献2：日本公开专利公报特开2013-184874号公报

发明内容

－发明要解决的技术问题－

介电质管是由玻璃等制成的，由于材料、成形精度的影响，内表面不呈真圆形的情况相当多，内径也存在某种程度上的偏差。从微观层次来看，介电质管的内表面也不是平滑的，而是存在有凹凸。

为此，通过使用丝部件、或者使供电部件形成为灯笼形来确保供电部件与电极之间的接触。然而，由于丝部件、灯笼形供电部件的形状较复杂，因此存在制造上较麻烦的问题。

于是，本发明的主要目的在于提供一种能够容易地制造的臭氧产生装置。

－用以解决技术问题的技术方案－

本发明的管型臭氧产生装置所具备的臭氧产生单元具有筒状外侧电极管、以及隔着放电间隙布置在所述外侧电极管的内侧的放电管。所述放电管具有：至少在一端部具有开口的筒状介电质管；设置为以具有从所述开口露出来的露出端部的状态与所述介电质管的内周面紧密相接的电极膜；以及与外部电源相连接而向所述电极膜供电的供电部件。

所述供电部件具有设置在所述电极膜的内侧的内侧扣夹、以及设置在所述电极膜的外侧的外侧扣夹，所述内侧扣夹和所述外侧扣夹夹住所述露出端部。