[发明专利]一种光学测量系统

权利要求书

1.一种光学测量系统，其特征在于：包括共用物镜、发射侧物镜(3)、接收侧物镜(6)、光源，所述光源发出的光束经过发射侧物镜(3)后进入共用物镜，由共用物镜出射的光束，不同的波长沿共用物镜的光轴方向聚焦，经被测对象(5)反射或散射后再次进入同一共用物镜，由共用物镜出射的光束进入接收侧物镜(6)，由接收侧物镜(6)出射的光束经过后端光谱解码后，用于获取被测对象(5)信息，所述发射侧物镜(3)与共用物镜的光轴、以及接收侧物镜(6)与共用物镜的光轴不同轴，具有空间偏移量。

2.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述共用物镜为具有轴向色散功能、存在轴向色差的色散物镜(4)。

3.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述光源为连续光谱光源(1)。

4.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述光源发出的光束经过共焦光栏后进入发射侧物镜(3)，所述共焦光栏为不包含间隔小孔阵列的第一狭缝(2)。

5.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述发射侧物镜(3)、共用物镜、接收侧物镜(6)三者光轴不同轴，由共用物镜出射的光束、以及经被测对象(5)反射或散射后进入共用物镜的光束与Z轴之间均具有倾斜角，所述倾斜角的倾斜角度可调节。

6.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述共用物镜和/或发射侧物镜(3)和/或接收侧物镜(6)为单片光学元件或包括多片光学元件的物镜组。

7.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：在获取被测物(5)表面的形貌信息之前的光学测量系统中无分光元件。

8.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述共用物镜和发射侧物镜(3)组成具有轴向线色散且完善聚焦的色散物镜组，所述接收侧物镜(6)与共用物镜组成具有轴向线色散且完善聚焦的色散物镜组。

9.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：在共用物镜前端还包括折转光学元件，用于实现光路的折转。

10.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：由接收侧物镜(6)接收的光束在共焦光栏上形成线状光斑；所述线状光斑经过第一透镜(8)变换后被分光元件分成两部分：其中一部分被第二透镜(10)聚焦于线阵光电转换元件(11)上，用于采集总体光强度信息；另外一部分经色散元件后按照不同波长、不同出射角度色散出射，色散出射的光束被第三透镜(13)在二维空间上聚焦到面阵光电转换元件(14)上，所述面阵光电转换元件(14)收到的面阵光强信息经过处理后即得到被测对象(5)的信息。